[实用新型]晶膜厚度自动检测的扩晶机

权利要求书

1.晶膜厚度自动检测的扩晶机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的下端外表面设置有支撑脚(2)，所述支撑脚(2)的上端外表面设置有调节机构(3)，所述调节机构(3)的上端外表面设置有固定机构(4)，所述底座(1)的上端外表面靠近调节机构(3)的后侧设置有装置主体(5)，所述装置主体(5)的上端外表面设置有电推杆(6)，所述电推杆(6)的内部表面贯穿设置有检测头(7)。

2.根据权利要求1所述的晶膜厚度自动检测的扩晶机，其特征在于：所述调节机构(3)包括滑槽(31)、滑杆(32)、检测台(33)、把手(34)，所述底座(1)的上端内部掏空设置有滑槽(31),所述滑槽(31)的内侧表面设置有滑杆(32)，所述滑杆(32)的上端外表面设置有检测台(33)，所述检测台(33)的上端外表面把手(34)，所述滑槽(31)的外表面与底座(1)的上端内部表面固定连接，所述滑杆(32)的外表面与滑槽(31)的内部表面活动连接，所述检测台(33)的下端外表面与滑杆(32)的上端外表面固定连接，所述把手(34)的下端外表面与检测台(33)的上端外表面固定连接。

3.根据权利要求1所述的晶膜厚度自动检测的扩晶机，其特征在于：所述固定机构(4)包括固定块(41)、螺纹转杆(42)、滑块(43)、滚筒(44)、支撑架(45)、压头(46)，所述调节机构(3)的上端外表面设置有固定块(41)，所述固定块(41)的内部表面贯穿设置有螺纹转杆(42)，所述螺纹转杆(42)的一端外侧设置有滑块(43)，所述滑块(43)的上端外表面设置有滚筒(44)，所滑块(43)的一侧设置有支撑架(45)，所述支撑架(45)的上端内侧表面设置有压头(46)，所述固定块(41)的下端外表面与调节机构(3)的上端外表面固定连接，所述螺纹转杆(42)的外表面与固定块(41)的内部表面螺纹连接，所述滑块(43)的一端内侧表面与螺纹转杆(42)的一端外表面活动连接，所述滚筒(44)与压头(46)通过第一转轴连接，所述支撑架(45)的下端外表面与调节机构(3)的上端外表面固定连接，所述支撑架(45)与压头(46)通过第二转轴连接。

4.根据权利要求1所述的晶膜厚度自动检测的扩晶机，其特征在于：所述支撑脚(2)的上端外表面与底座(1)的下端外表面固定连接，所述装置主体(5)的下端外表面与底座(1)的上端外表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的晶膜厚度自动检测的扩晶机，其特征在于：所述电推杆(6)的下端外表面与装置主体(5)的上端外表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的晶膜厚度自动检测的扩晶机，其特征在于：所述检测头(7)的外表面与电推杆(6)的内部表面活动连接。