[实用新型]一种非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置

说明书

本实用新型涉及非接触式轮廓仪分析样品表面形貌技术领域，尤其涉及一种非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置。该装置的被测管件样品正下方依次设有橡皮泥、载玻片、移动平台、滑轨、下端气缸，水平被测管件样品的两侧分别通过左侧行走传动定位轴、右侧行走传动定位轴顶持，被测管件样品左侧依次设有左侧行走传动定位轴、左侧滑块、左侧气缸，被测管件样品右侧依次设有右侧行走传动定位轴、超薄θ轴中空微调手动平台、右侧滑块、右侧气缸，被测管件样品正上方依次设有支架、微调光学狭缝、光源。本实用新型确保在表面轮廓分析实验过程中快速调整需要测量部位始终处于管材的最顶端，保证非接触式表面轮廓分析实验中数据采集及结果分析的准确性。

技术领域

本实用新型涉及非接触式轮廓仪分析样品表面形貌技术领域，尤其涉及一种非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置。

背景技术

目前，材料表面轮廓分析的手段主要分为接触式和非接触式两种测量方式。非接触式测量材料表面轮廓用到的仪器主要是白光干涉仪和激光共聚焦显微镜。主要是对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级的测量。两种仪器均可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

对于核电站蒸汽发生器传热管由于流致振动引起的微动磨损失效行为的研究中，磨痕区域狭长，并且深度很浅。经过多种实验测试研究发现目前利用白光干涉仪对管材的磨损体积进行测量，结果要更加准确。而对管材某一固定位置进行表面轮廓分析时，如何调整使该位置处于最高点以及固定该位置，对数据的采集和结果分析是至关重要的。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，以确保在表面轮廓分析实验过程中可以快速调整需要测量部位始终处于管材的最顶端，从而保证非接触式表面轮廓分析实验中数据采集及结果分析的准确性。而且，本实用新型装置定位好的样品可以通过橡皮泥固定在载玻片上进行多组样品的批量定位，适合大批量样品的表面轮廓分析。

本实用新型解决其问题所采取的的技术方案是：

一种非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，该装置包括：光源、微调光学狭缝、超薄θ轴中空微调手动平台、右侧行走传动定位轴、右侧气缸、右侧滑块、被测管件样品、橡皮泥、下端气缸、载玻片、移动平台、滑轨、左侧气缸、左侧滑块、左侧行走传动定位轴、支架，具体结构如下：

被测管件样品正下方依次设有橡皮泥、载玻片、移动平台、滑轨、下端气缸，水平被测管件样品的两侧分别通过左侧行走传动定位轴、右侧行走传动定位轴顶持，被测管件样品左侧依次设有左侧行走传动定位轴、左侧滑块、左侧气缸，被测管件样品右侧依次设有右侧行走传动定位轴、超薄θ轴中空微调手动平台、右侧滑块、右侧气缸，被测管件样品正上方依次设有支架、微调光学狭缝、光源。

所述的非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，滑轨的两端底部安装支腿。

所述的非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，被测管件样品水平放置在橡皮泥上，橡皮泥粘在载玻片上，载玻片水平放置在移动平台上，下端气缸的缸头固定在滑轨的正中下方，移动平台与下端气缸的杠杆相连接。

所述的非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，左侧行走传动定位轴固定在左侧滑块上，左侧气缸的缸身固定在滑轨左侧、左侧气缸的缸杆与左侧滑块相连接。

所述的非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，超薄θ轴中空微调手动平台固定在右侧行走传动定位轴的右侧，超薄θ轴中空微调手动平台和右侧行走传动定位轴两部件一起固定在右侧滑块上，右侧气缸的缸身固定在滑轨右侧、右侧气缸的缸杆与右侧滑块相连接。

所述的非接触式轮廓仪管材样品快捷定位装置，支架固定在滑轨上，光源和微调光学狭缝分别固定在支架上，光源位于微调光学狭缝的上方，光源通过微调光学狭缝与被测管件样品相对应。