[实用新型]一种集预热功能的上料机械手有效
申请号: | 201922083040.8 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN210778497U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 杨韬;汪瑞;汪洋;曹玉堂;滕云松;童晓燕;赵仁家 | 申请(专利权)人: | 铜陵富仕三佳机器有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人: | 范智强 |
地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 预热 功能 机械手 | ||
1.一种集预热功能的上料机械手,包括机械手机构,所述机械手机构设有底部支撑板,其特征是还包括移动预热台组件和保温被组件,所述保温被组件包括保温板(40),所述保温板(40)上方固接气缸(39),所述气缸(39)固接无杆气缸(32)的滑块,所述无杆气缸(32)连接安装板(31),安装板(31)的一端固接有铝型材(30),所述铝型材(30)的底部固接机械手机构的底部支撑板;所述移动预热台组件包括连接底座(21),所述连接底座(21)上固接有预热台(22),所述预热台(22)上设有加热片,所述加热片配有熔断器(41)和过热保护器(42)。
2.根据权利要求1所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述连接底座(21)底部固接线性模组(20),所述线性模组(20)连接机械手机构的底部支撑板并由伺服电机(19)驱动。
3.根据权利要求1所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述预热台(22)上设有光纤传感器,所述光纤传感器通过放大器监测条带。
4.根据权利要求1所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述铝型材(30)通过支撑块(37)固接底部支撑板,所述铝型材(30)底端设有定位辅助块(36)。
5.根据权利要求1所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述预热台(22)四周和底部均安装有隔热板(26)。
6.根据权利要求1所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述无杆气缸(32)通过气缸用钣金件(34)连接安装板(31)。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的一种集预热功能的上料机械手,其特征是所述预热台(22)下方固接有挡光板(28)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造