[实用新型]一种刷洗机用溢流槽结构

说明书

本实用新型公开一种刷洗机用溢流槽结构，包括刷头、溢流槽、支架和马达，所述刷头表面开有若干出水孔，刷头内通过空心导柱接有水管，所述溢流槽设置在刷头的下方，溢流槽的一侧接有进水管，溢流槽的底部接有出水管，出水管上装有自动排水阀；所述空心导柱安装在支架上，所述马达通过齿轮驱动空心导柱在支架上自转，实现刷头内出水对溢流槽的清洗。本实用新型通过在刷头内接水管，实现了刷头的自清洗功能，可以减少刷头上附着的particle，降低刷头的更换频率，节约时间，提高生产效率；另外，通过在溢流槽的底部接出水管，出水管上装自动排水阀，实现了溢流槽的自动排水功能，避免纯水受到二次污染。

技术领域

本实用新型涉及一种刷洗机用溢流槽结构，属于蓝宝石衬底设备领域。

背景技术

PSS(Patterned Sapphire Substrate，图形化蓝宝石衬底)是在蓝宝石衬底表面形成具有微观图形的蓝宝石衬底。图形化衬底一方面能够有效降低外延结构层的位错密度，提高外延材料的晶体质量和均匀性，进而提高发光二极管的内部量子效率；另一方面，由于图形结构增加了光的散射，改变了发光二极管的光学线路，提升出光几率。

PSS工艺包括清洗、涂胶、光刻、显影、刻蚀等。在采用刷洗机对wafer(晶圆)进行刷洗时，由于每天刷洗的片数较多且wafer的表面粗糙度大小不同，刷头上的无尘布在刷洗过程中容易磨损产生絮状碎屑(particle)，较重的碎屑因为无法完全漂浮于表面导致溢流槽无法溢出，在刷头于溢流槽中等待刷洗的过程中容易二次污染刷头；同时现有溢流槽排水口在底部且为螺丝口，需将手伸入溢流槽才能打开，容易污染溢流槽。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种刷洗机用溢流槽结构，有效减少particle附着在刷头上，避免刷头受到二次污染。

为了实现上述目的，本实用新型采用的一种刷洗机用溢流槽结构，包括刷头、溢流槽、支架和马达，所述刷头表面开有若干出水孔，刷头内通过空心导柱接有水管，所述溢流槽设置在刷头的下方，溢流槽的一侧接有进水管，溢流槽的底部接有出水管，出水管上装有自动排水阀；

所述空心导柱安装在支架上，所述马达通过齿轮驱动空心导柱在支架上自转，实现刷头内出水对溢流槽的清洗。

作为改进，所述刷头固定在空心导柱的底部，所述水管经空心导柱内部向刷头的内部进水。

作为改进，所述刷头通过刷头固定装置安装在空心导柱上。

作为改进，所述空心导柱上安装有从动齿轮，所述马达通过驱动轴与主动齿轮连接，主动齿轮与从动齿轮间通过传动皮带相连。

作为改进，所述支架的一端通过连接轴承连接在驱动轴上，另一端通过支撑轴承安装在空心导柱上。

与现有技术相比，本实用新型通过在刷头内接水管，实现了刷头的自清洗功能，可以减少刷头上附着的particle，降低刷头的更换频率，节约时间，提高生产效率；另外，通过在溢流槽的底部接出水管，出水管上装自动排水阀，实现了溢流槽的自动排水功能，避免纯水受到二次污染。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、空心导柱，2、水管，3、从动齿轮，4、支撑轴承，5、刷头，6、刷头固定装置，7、溢流槽，8、进水管，9、自动排水阀，10、出水管，11、主动齿轮，12、马达，13、支架，14、传动皮带。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。