[实用新型]一种掩膜板清洗液回收装置

权利要求书

1.一种掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块；

所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路；

所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述水汽分离单元用于对液化单元低温雾化后的雾化水进行分离；

所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化，液化后的清洗液液体回到清洗槽实现清洗液的回收与利用。

2.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述掩膜板清洗液回收装置还设置有第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀，所述第一单向阀位于所述清洗槽和所述液化单元的连接管道上，所述第二单向阀位于所述水汽分离模块和所述冷凝回收模块的连接管道上，所述第三单向阀位于所述冷凝回收模块与所述清洗槽的连接管路上，所述第一单向阀、第二单向阀和第三单向阀用于阻止管道内的气液混合物反向流动。

3.如权利要求2所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述第二单向阀为单向电磁阀。

4.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述水汽分离单元的下端还设置有疏水阀。

5.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述水汽分离单元为水汽分离器。

6.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述水汽分离单元为减压蒸馏器。

7.如权利要求6所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述减压蒸馏器内还设置有液位传感器，所述液化单元的上端还设置有第一出气端，便于固液混合体更快分离。

8.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述掩膜板清洗液回收装置还设置有水汽检测模块，所述水汽检测模块一端连接在所述水汽分离模块和冷凝回收模块的连接管路上，另一端与冷凝回收模块上的第一出汽端连接，所述水汽检测模块用于检测气体内的水汽含量。

9.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，所述水汽分离模块的数量为两个，所述水汽分离模块之间串联，用于清洗液提纯。

10.如权利要求1所述的掩膜板清洗液回收装置，其特征在于，还设置有进汽端，所述进汽端设置在所述清洗槽与水汽分离模块的连接管道上，用于将混合气体一起倒入水汽分离模块。