[实用新型]真空镀膜夹具

说明书

本申请涉及一种真空镀膜夹具，包括：底盘；驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。本申请的支架可相对于底盘径向移动以调节支架之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物，快捷方便。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜夹具，属于夹具技术领域。

背景技术

真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、航空、包装、光伏等技术领域。

当利用真空腔体在圆锯片基底上进行真空镀膜，尤其针对不同直径的圆锯片镀膜时，往往需要适配不同的工装夹具，操作人员需要花费大量的时间去更换夹具，费时费力、作业效率较低、设备投入较大。同时为了保证镀膜工艺，往往又要求镀膜夹具需要实现不同速度的旋转运动，这对于镀膜夹具提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜夹具，其结构简单、工作效率高。

为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜夹具，包括：

底盘；

驱动机构，与所述底盘连接以驱动所述底盘旋转；

支架，设置在所述底盘上用以夹持目标物且至少设置有两个；

每个所述支架可相对于所述底盘径向移动以调节至少两个所述支架之间的距离。

进一步地，所述底盘上设置有至少两个导轨，每个所述支架设置有与每个所述导轨滑动配合的滑块。

进一步地，每个所述导轨自所述底盘表面向内凹陷形成。

进一步地，所述滑块上还设置有用以与所述底盘抵持以将所述支架固定的固定组件。

进一步地，所述固定组件包括开设在所述滑块上的通孔、及穿过所述通孔与所述底盘抵持的紧固件。

进一步地，所述底盘上设置有刻度圈。

进一步地，每个所述支架上设置有用以放置所述目标物的支撑件、及用以防止所述目标物与所述支撑件脱落的夹持件。

进一步地，所述真空镀膜夹具还包括用以连接所述驱动机构及所述底盘的传动机构。

进一步地，所述传动机构包括与所述驱动机构连接的第一带轮、与所述底盘连接的轴承座、与所述轴承座连接的传动轴、与所述传动轴连接的第二带轮、及用以连接所述第一带轮与第二带轮的传动带。

进一步地，所述真空镀膜夹具还包括用以辅助放置所述目标物的辅助工装机构。

本实用新型的有益效果在于：支架可相对于底盘径向移动以调节支架之间的距离，从而用以夹持不同大小的目标物，快捷方便；

底盘上设置有刻度圈，可根据刻度圈快速调节距离，无需测量，方便快捷。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为真空镀膜夹具的结构示意图；

图2为真空镀膜夹具的主视图；

图3为真空镀膜夹具的截面视图；

图4为真空镀膜夹具的底部视图；

图5为辅助工装机构装卡平面圆锯片的结构示意图；