[实用新型]一种带防腐蚀石英管的扩散设备

权利要求书

1.一种带防腐蚀石英管的扩散设备，包括机座，其特征在于，所述机座上固定有箱体，箱体内设置有扩散炉体，扩散炉体端部通过焊接的方式倾斜连接有尾气废管，且尾气废管的轴线与水平面呈负2-6度夹角，尾气废管为乳白石英管，尾气废管内还套设有防护管，且防护管的长度与尾气废管的长度之比为4：5，防护管为普通石英管。

2.根据权利要求1所述的带防腐蚀石英管的扩散设备，其特征在于，所述尾气废管外还套设有防泄漏管，防泄漏管一端通过耐腐蚀密封圈一和扩散炉体密封连接，防泄漏管另一端通过耐腐蚀密封圈二和尾气废管密封连接，防泄漏管中部还连接辅助管，辅助管上安装有压力表。

3.根据权利要求1所述的带防腐蚀石英管的扩散设备，其特征在于，所述尾气废管的轴线与水平面呈负3度夹角。

4.根据权利要求1所述的带防腐蚀石英管的扩散设备，其特征在于，所述机座上还设置有供气结构，供气结构包括辅助桶、搅拌轴、输气总管和若干进气支管，辅助桶通过支撑脚固定在机座上，辅助桶底部竖直固定有若干导气管，且导气管呈均匀分布，导气管上端固定有呈半球形的导流罩，导流罩上具有若干气孔，导气管下端和进气支管一端相连通，进气支管另一端能与外界气源相连通，搅拌轴竖直转动设置在辅助桶顶部，搅拌轴上端与一能带动其转动的动力组件相连，搅拌轴下端伸入到混合箱内和搅拌叶片相连，输气总管一端和辅助桶顶部相连通，输气总管另一端和扩散炉体侧部相连通，输气总管上还设置有电磁阀。

5.根据权利要求4所述的带防腐蚀石英管的扩散设备，其特征在于，所述动力组件包括安装板、动力电机、主动轮和从动轮，安装板固定在辅助桶上，动力电机固定在安装板上，动力电机的输出轴竖直设置，主动轮固定在动力电机的输出轴端部，从动轮固定在搅拌轴上端，且从动轮与主动轮相啮合。