[实用新型]蒸发源机构以及溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种蒸发源机构，与真空镀膜室配合使用，其特征在于，包括：

蒸发源装置，至少设有两个，包括加药阀、具有蒸发腔的蒸发箱以及置于所述蒸发腔内的坩埚，所述坩埚开设有开口朝上设置并用于存放药液的存药腔，所述蒸发箱于其侧壁开设与所述蒸发腔连通且与所述真空镀膜室对接的出料口，以及于其上壁开设与所述蒸发腔连通的加药口，所述加药阀用于打开/关闭所述加药口；

药液滴灌装置，至少设有两个，包括具有出药口的引药管以及用于向引药管供应药液的供药结构，其中，各所述出药口分别用于将药液引落至一所述存药腔；

同步加药装置，用于一并驱动各所述出药口上下运动，以使各所述出药口分别经一所述加药口进出一所述蒸发腔。

2.如权利要求1所述的蒸发源机构，其特征在于，所述同步加药装置包括与各所述药液滴灌装置连的中间连接件以及驱动所述中间连接件上下运动以带动各所述出药口上下运动的同步驱动组件。

3.如权利要求2所述的蒸发源机构，其特征在于，所述中间连接件包括由所述同步驱动组件驱动而上下运动的连接本体以及至少两个均连接于所述连接本体且随所述连接本体上下运动的联动支臂，所述联动支臂包括一端与所述连接本体连接的横杆以及连接于横杆另一端的竖杆。

4.如权利要求3所述的蒸发源机构，其特征在于，所述引药管为柔性管。

5.如权利要求2所述的蒸发源机构，其特征在于，所述同步驱动组件包括驱动电机以及用于连接所述驱动电机和所述中间连接件的丝杆结构。

6.如权利要求1至5中任一项所述的蒸发源机构，其特征在于，所述蒸发源装置还包括用于驱动所述坩埚以使所述坩埚在初始状态和蒸镀状态之间切换的转动结构，所述坩埚在初始状态时所述存药腔腔口朝上设置，而在所述蒸镀状态时所述存药腔腔口朝向所述出料口设置。

7.如权利要求6所述的蒸发源机构，其特征在于，所述转动结构包括与所述坩埚连接传动轴以及用于驱动所述传动轴以带动所述坩埚在所述初始状态和所述蒸镀状态之间切换的转动电机，所述转动电机固定于所述蒸发箱。

8.如权利要求1至5中任一项所述的蒸发源机构，其特征在于，所述蒸发源装置设有四个。

9.一种溅射镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的蒸发源机构。