[实用新型]一种晶圆夹具

权利要求书

1.一种晶圆夹具，其特征在于，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述主臂内部设有通气腔，所述主臂顶部安装有与所述通气腔相通的抽气装置，所述抽气装置上设有开关，所述主臂靠近侧臂的位置设有与所述通气腔相通的主导气管；所述伸缩臂上设有侧导气管，所述主导气管和侧导气管通过螺旋状的通气管相连，所述侧导气管与所述吸盘相连通。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述限位槽为弧形，且弧度大于π/3。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述限位槽的槽内壁设有一层保护垫。

5.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述主臂上固定设有支撑轴，所述侧臂端部固接有齿环，所述齿环套于所述支撑轴外部且能够相对支撑轴转动。

6.根据权利要求5所述的晶圆夹具，其特征在于，所述齿环的外圈设有齿槽，所述主臂上设有支撑块，所述支撑块上安装有能够与所述齿槽相卡合的第一弹性组件。

7.根据权利要求6所述的晶圆夹具，其特征在于，所述伸缩臂相对所述吸盘的一侧设有滑块，所述侧臂设有容纳所述滑块滑动的滑槽，所述滑槽壁上设有若干卡槽，所述滑块设有能够与所述卡槽相卡合的第二弹性组件。

8.根据权利要求7所述的晶圆夹具，其特征在于，所述第二弹性组件与第一弹性组件的结构相同，均包括相连的弹簧和卡凸，所述滑块和支撑块内均设有相连通的弹簧槽和卡凸槽，所述弹簧槽用于安装弹簧，所述卡凸槽能够容纳所述卡凸。

9.根据权利要求8所述的晶圆夹具，其特征在于，所述卡凸的外表面为圆弧面。

10.根据权利要求1所述的晶圆夹具，其特征在于，所述侧臂的数量为两个，所述侧臂与主臂的夹角为15-120°。