[实用新型]一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具

说明书

本实用新型公开了一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具，包括夹具本体，所述夹具本体上设置有第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元，所述第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元均由多个产品放置孔组成，所述产品放置孔外侧固定有锁螺丝台阶，所述夹具本体位于锁螺丝台阶处开设有螺丝孔。本实用新型，锁螺丝台阶各留10*5*0.5mm台阶留着锁螺丝，其余玻璃放置台阶面按固定高度铣平，可避免边缘出现少镀；通过设置锁螺丝台阶，可方便镊子从边缘取片。

技术领域

本实用新型涉及3D虹膜识别磁控溅射技术领域，具体是一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具。

背景技术

蒸镀是对镀膜材料加热使其气化沉积在基体或工件表面并形成 薄膜或涂层的工艺过程。蒸镀过程将金属和酸化物等蒸发，使其于素材的表面附着形成一层薄膜，蒸镀可大略分为物理蒸镀（PVD）与化学蒸镀(CVD)两种。其中，磁控溅射镀膜是在真空环境中将材料经过气体能量轰击靶材并镀到基片上称为磁控溅射。

传统治具如图4和图5所示，现有是在夹具本体1上开设产品放置台阶5，将产品放置在产品放置台阶5内，现有的治具问题点：

1、四边有台阶导致镀膜后，出现四边的侧边少镀；

2、螺丝拧紧后玻璃在镀膜过程中膨胀翘曲直接卡在四边台阶产生碎片；

3、四周是密封台阶，下片取片镊子无法从边缘取片。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有锁螺丝台阶的溅射夹具，包括夹具本体，所述夹具本体上设置有第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元，所述第一排放置单元、第二排放置单元和第三排放置单元均由多个产品放置孔组成，所述产品放置孔外侧固定有锁螺丝台阶，所述夹具本体位于锁螺丝台阶处开设有螺丝孔。

优选的，所述第一排放置单元共设置有3个产品放置孔，所述第二排放置单元共设置有4个产品放置孔，所述第三排放置单元共设置有3个产品放置孔。

优选的，所述第一排放置单元的产品放置孔与第二排放置单元的产品放置孔交错设置，所述第三排放置单元的产品放置孔与第二排放置单元的产品放置孔交错设置。

优选的，所述第一排放置单元的产品放置孔的四个边中部均固定有锁螺丝台阶，所述第二排放置单元的产品放置孔的四个边中部均固定有锁螺丝台阶，所述第三排放置单元的产品放置孔的四个边中部均固定有锁螺丝台阶。

优选的，所述锁螺丝台阶的长度设置为10mm，所述锁螺丝台阶的宽度设置为5mm，所述锁螺丝台阶的深度设置为0.5mm。

优选的，所述夹具本体设置为不锈钢材质。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：锁螺丝台阶各留10*5*0.5mm台阶留着锁螺丝，其余玻璃放置台阶面按固定高度铣平，可避免边缘出现少镀；通过设置锁螺丝台阶，可方便镊子从边缘取片，也可避免玻璃在镀膜过程中膨胀翘曲直接卡在四边台阶产生碎片。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的俯视图。

图2为本实用新型A-A处的剖视图。

图3为本实用新型的主视图。

图4为现有技术中的俯视图。

图5为现有技术产品放置台阶处的局部结构示意图。