[实用新型]一种晶圆片清洗回收机有效
| 申请号： | 201922106087.1 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN212759930U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 辛长林;阚总峰;刘洪刚;赵峰 | 申请（专利权）人： | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 247000 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 清洗 回收 | ||
1.一种晶圆片清洗回收机，包括：基座(1)，其特征在于，所述基座(1)的顶端设置有条形凹槽(108)，所述条形凹槽(108)的内部活动设置有支撑柱(117)，所述支撑柱(117)的底端设置有凸块(122)，所述凸块(122)设置在条形凹槽(108)的内部，所述支撑柱(117)的侧面对称设置有滑槽(116)，所述滑槽(116)的内部设置有挡板(118)，所述条形凹槽(108)的内部设置有电动推杆(112)，所述电动推杆(112)的顶端设置有支撑圆台(121)，所述支撑圆台(121)的顶端中心设置有半圆形卡槽一(120)，所述半圆形卡槽一(120)的上部设置有与所述半圆形卡槽一(120)相匹配的半圆形卡槽二(113)，所述半圆形卡槽一(120)与所述半圆形卡槽二(113)的内部设置有晶圆片(119)，所述半圆形卡槽二(113)的顶端设置有支撑杆(115)，所述支撑杆(115)的顶端设置有电机(114)，所述电机(114)的输出轴穿过所述支撑杆(115)与所述半圆形卡槽二(113)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗回收机，其特征在于，所述条形凹槽(108)的内部设置有竖直水管(109)，所述竖直水管(109)的顶端设置有喷淋头(110)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗回收机，其特征在于，所述喷淋头(110)的一侧通过水管连接有储水箱(106)，所述储水箱(106)的顶端设置有加压电机(107)，所述加压电机(107)的一侧设置有水管(105)，所述水管(105)的底端设置有水管二(104)，所述水管二的另一端设置有水管三(103)，所述水管三(103)的另一端设置有加压泵(102)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗回收机，其特征在于，所述基座(1)的顶端设置有钢槽(123)，所述钢槽(123)的底端设置有限位槽(111)，所述限位槽(111)的内部设置有所述竖直水管(109)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗回收机，其特征在于，所述钢槽(123)的底端设置有沉淀槽(124)，所述沉淀槽(124)的底端另一侧设置有圆形通孔(125)，所述圆形通孔(125)，通过水管四(101)与所述加压泵(102)连接。
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