[实用新型]一种CIGS镀膜XRF监测系统的组合散热结构有效
申请号: | 201922108684.8 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN210668403U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 平益锋;徐彩军;任宇航 | 申请(专利权)人: | 尚越光电科技股份有限公司;浙江尚越新能源开发有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01J35/02 |
代理公司: | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人: | 张华 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cigs 镀膜 xrf 监测 系统 组合 散热 结构 | ||
本实用新型涉及一种CIGS镀膜XRF监测系统的组合散热结构,解决现有的XRF监测系统散热结构或散热不足,且水冷散热容易在XRF监测系统工作环境中产生冷凝水,不利于设备使用寿命的问题。本结构安装腔内设置XRF监测系统,安装腔朝下单侧开口,所述安装腔外壁的环周盘设有水冷盘管,所述安装腔从下方开口侧向上伸入有冷风管,所述冷风管正对XRF监测系统底面,冷风管的外端连接制冷外机,冷风管伸入安装腔的内端的内部设置有冷风扇,冷风管的外侧壁与安装腔的内侧壁之间构成排风通道。本实用新型对XRF监测系统的安装腔采用风冷和水冷结合的散热结构,风冷气流带走冷凝水,且能加强对流提高水冷热交换效率,以更低的能耗对XRF监测系统起到更好的散热和除湿效果。
技术领域
本实用新型属于新能源领域,涉及一种柔性CIGS太阳能电池片制作设备,特别涉及一种CIGS镀膜XRF监测系统的组合散热结构。
背景技术
柔性太阳能电池片是在柔性可卷绕的基底上形成太阳能光伏材料镀层。铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池是一种质量功率比高、稳定性好的太阳能光伏材料,被普遍认为是最具发展前景的柔性太阳能电池材料。柔性太阳能电池片采用多元共蒸法在基底上形成CIGS镀膜层。镀膜生产线上,采用XRF(X射线荧光分析仪)对膜层的厚度和成分进行监控并反馈给中控电脑,依据反馈信息对多元共蒸的蒸气压进行调节控制,对产品质量进行稳定控制。XRF监测系统工作时,通过高压电在X射线管激发X射线,X射线发射到膜层激发荧光,再通过探测器获取膜层荧光信息,形成反馈。工作过程中,XRF监测系统需要一个相对稳定的温湿度环境,但高压激发X射线的过程中会产生大量的热量,传统的散热结构是在XRF监测系统安装腔的外侧通过水冷盘管进行散热,这种散热方式由于安装腔是一个相对封闭的空间,空气对流小,散热效果不能满足需求;也有在主要发热部件X射线管外侧盘绕水冷盘管,这样的散热结构大大增加了XRF监测系统的体积和安装复杂程度,不利于安装和维护。而且,水冷散热模式容易在XRF监测系统工作环境下产生冷凝水,XRF监测系统在潮湿环境下影响使用寿命。
实用新型内容
本实用新型主要是解决现有的XRF监测系统散热结构或散热不足、或体积大安装复杂,且水冷散热容易在XRF监测系统工作环境中产生冷凝水,不利于设备使用寿命的问题,提供一种CIGS镀膜XRF监测系统的组合散热结构,通过水冷和风冷的结合,提高散热效果,并促进XRF监测系统安装腔的空气对流,减少冷凝水的积聚,保证XRF监测系统稳定的温湿度工作环境。
本实用新型的目的主要是通过下述方案得以实现的:一种CIGS镀膜XRF监测系统的组合散热结构,包括安装腔,安装腔内设置XRF监测系统,其特征在于:所述安装腔朝下单侧开口,所述安装腔外壁的环周盘设有水冷盘管,所述安装腔从下方开口侧向上伸入有冷风管,所述冷风管正对XRF监测系统底面,冷风管的外端连接制冷外机,冷风管伸入安装腔的内端的内部设置有冷风扇,冷风管的外侧壁与安装腔的内侧壁之间构成排风通道。本方案中,安装腔朝下开口,让冷凝水能自然排出;安装腔外侧通过水冷盘管进行水冷,并将冷风管伸入安装腔内进行风冷,采用风冷和水冷结合的散热结构,风冷结构在安装腔内部形成中间向上、环周向下的气流;由于风冷的低温气流为更加干燥的气流,可以将水冷产生的冷凝水快速排出,使安装腔内不会积聚冷凝水,能保持相对较低的湿度;而且气流带动热量循环,使热量能更多地传递到安装腔的侧壁,提高水冷的冷却效率。本方案能以更低的能耗对XRF监测系统起到更好的散热和除湿效果,保证XRF监测系统稳定的温湿度工作环境,保证设备稳定运行,延长设备使用寿命。
作为优选,所述排风通道为朝下的敞口开放式结构。
作为另一种优选方案,所述排风通道连接排风管,排风管内设置有排风扇。排风通道可以自然敞口排风,也可以通过排风管强排风。
作为优选,所述制冷外机选用空调外机。
作为优选,所述XRF监测系统包括X射线管,X射线管设置在XRF监测系统底面,所述冷风管对齐X射线管的侧壁。X射线管是高压电激发X射线的主要产热部件,需要重点降温。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的