[实用新型]一种RF探针卡保护装置、调节装置和保护装置

权利要求书

1.一种RF探针卡保护装置，其特征在于：包括主体（1）以及调节装置和保护装置；

所述调节装置包括安装在主体（1）一端侧壁的探针（2），所述主体（1）的一端吸附有吸盘（4），所述吸盘（4）固定连接在连接块（5）的底端，所述连接块（5）的内部开有活动槽（6）；

所述保护装置包括卡合连接在探针（2）顶部的保护盖（3），所述保护盖（3）的内部粘贴有防护垫（15），所述保护盖（3）的顶端固定连接波纹管（13）的一端。

2.根据权利要求1所述的一种RF探针卡保护装置，其特征在于：所述活动槽（6）的内部滑动连接滑块（7），所述滑块（7）固定连接在连接杆（9）的一端。

3.根据权利要求2所述的一种RF探针卡保护装置，其特征在于：所述连接杆（9）的外侧套接第一弹簧（8），所述第一弹簧（8）位于活动槽（6）的内部，所述第一弹簧（8）的两端分别固定连接滑块（7）的一端和连接块（5）的一端侧壁。

4.根据权利要求2所述的一种RF探针卡保护装置，其特征在于：所述连接杆（9）一端固定连接连接板（10）的一端侧壁，所述连接板（10）为矩形板，所述连接板（10）的内部开有螺纹孔。

5.根据权利要求4所述的一种RF探针卡保护装置，其特征在于：所述连接板（10）的内部螺纹连接螺纹管（11），所述螺纹管（11）的底端固定连接活动板（12），所述活动板（12）卡合在连接板（10）的底端。

6.根据权利要求5所述的一种RF探针卡保护装置，其特征在于：所述活动板（12）的底端固定连接波纹管（13）的一端，所述波纹管（13）的内部套接第二弹簧（14），所述第二弹簧（14）的两端分别固定连接活动板（12）的一端侧壁与保护盖（3）的一端侧壁。

7.一种RF探针卡保护装置用调节装置，其特征在于：包括安装在主体（1）一端侧壁的探针（2），所述主体（1）的一端吸附有吸盘（4），所述吸盘（4）固定连接在连接块（5）的底端，所述连接块（5）的内部开有活动槽（6）。

8.一种RF探针卡保护装置用保护装置，其特征在于：包括卡合连接在探针（2）顶部的保护盖（3），所述保护盖（3）的内部粘贴有防护垫（15），所述保护盖（3）的顶端固定连接波纹管（13）的一端。