[实用新型]一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构

说明书

本实用新型公开了一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，包括冷却箱，冷却箱的上表面后侧固定安装有后罐体，后罐体的前侧铰接有前罐体，后罐体与前罐体的内部安装有冷却壳，冷却壳包括工作腔，工作腔的圆周外表面均匀固定安装有散热片，散热片的外侧固定安装在后罐体与前罐体的圆周内表面，后罐体与前罐体的内表面固定安装有保温层，后罐体与前罐体的上表面开设有进液孔，后罐体与前罐体的后表面下端开设有出液孔。与现有技术相比，本装置能够通过冷却壳等结构，使冷却液与后罐体、前罐体的工作腔充分接触，冷却效果好、效率高。

技术领域

本实用新型涉及真空离子镀膜机技术领域，具体为一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材，使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管，在圆管内通冷却水进行冷却，这种结构，冷却水不与真空镀膜机内部腔体直接接触，导致冷却速度慢，效率低，为了解决上述问题，我们提出一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，包括冷却箱，所述冷却箱的上表面后侧固定安装有后罐体，所述后罐体的前侧铰接有前罐体，所述后罐体与前罐体的内部安装有冷却壳，所述冷却壳包括工作腔，所述工作腔的圆周外表面均匀固定安装有散热片，所述散热片的外侧固定安装在后罐体与前罐体的圆周内表面，所述后罐体与前罐体的内表面固定安装有保温层，所述后罐体与前罐体的上表面开设有进液孔，所述后罐体与前罐体的后表面下端开设有出液孔。

优选的，所述冷却箱包括箱体，所述箱体的内部右侧固定安装有制冷机，所述制冷机的左侧固定安装有存水箱，所述存水箱的左侧前后两端固定安装有泵。

优选的，所述出液孔的后侧固定安装有电磁阀。

优选的，所述电磁阀通过软管与存水箱固定装配，所述前罐体后侧的进液孔通过软管与前侧泵的出水口固定装配，所述后罐体后侧的进液孔通过软管与后侧泵的出水口固定装配。

优选的，所述泵、制冷机、电磁阀通过导线与外部控制箱电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于真空离子镀膜机的冷却循环结构，能够通过冷却壳等结构，使冷却液与后罐体、前罐体的工作腔充分接触，冷却效果好、效率高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型冷却壳的结构示意剖视图。

图中：1冷却箱、11泵、12箱体、13存水箱、14制冷机、2冷却壳、21进液孔、22工作腔、23散热片、24保温层、25出液孔、3后罐体、4前罐体、5电磁阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。