[实用新型]一种晶体生长装置有效

专利信息
申请号: 201922114666.0 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN211005717U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 赵有文;段满龙;卢伟;杨俊;刘京明 申请(专利权)人: 珠海鼎泰芯源晶体有限公司
主分类号: C30B29/10 分类号: C30B29/10;C30B11/00;C30B33/02
代理公司: 广东朗乾律师事务所 44291 代理人: 闫有幸;杨焕军
地址: 519000 广东省珠海市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体生长 装置
【权利要求书】:

1.一种晶体生长装置,包括晶体生长炉;其特征在于,还包括底座以及角度调整装置;所述晶体生长炉具有转轴,所述晶体生长炉通过所述转轴安装在所述底座上,与所述底座可活动连接;所述角度调整装置的驱动端连接所述晶体生长炉的所述转轴;所述角度调整装置驱动所述转轴转动以调整所述晶体生长炉的倾斜角度。

2.根据权利要求1所述的晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长炉的炉体为圆柱形结构,所述晶体生长炉的转轴为凸出所述炉体表面、且相对于所述炉体的纵轴轴对称的两点处。

3.根据权利要求1或2所述的晶体生长装置,其特征在于,所述晶体生长炉具有容纳石英安瓿瓶的腔体,围绕所述腔体,设置有加热炉。

4.根据权利要求3所述的晶体生长装置,其特征在于,所述加热炉将所述晶体生长炉划分有若干个温区。

5.根据权利要求4所述的晶体生长装置,其特征在于,各个温区的温度分别控制。

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