[实用新型]一种抛光机下盘装置

权利要求书

1.一种抛光机下盘装置，下盘(10)在支撑盘(11)上，支撑盘在箱体组件(18)上，其特征在于：主电机(1)带动下盘旋转，所述下盘的盘面设置若干个孔，这些孔与真空轴(9)的内孔相通，真空泵通过管路与旋转接头(17)相连，工件(19)通过真空泵吸附在下盘(10)上。

2.根据权利要求1所述的抛光机下盘装置，其特征在于：所述下盘下方设置大垫环(12)，下盘固定在大垫环上，齿轮轴(8)上端为齿轮结构且与支撑盘(11)配合安装，主电机(1)通过减速机(6)、齿轮轴(8)、支撑盘(11)带动大垫环(12)和下盘(10)旋转工作。

3.根据权利要求2所述的抛光机下盘装置，其特征在于：主电机(1)输出轴上装有皮带轮(2)，主减速机(6)输入轴上装有皮带轮二(4)，主电机(1)通过皮带(3)带动主减速机(6)工作。

4.根据权利要求3所述的抛光机下盘装置，其特征在于：主减速机(6)输出轴为空心轴(7)，齿轮轴(8)插装在空心轴(7)内。

5.根据权利要求4所述的抛光机下盘装置，其特征在于：支撑盘(11)上装有转盘轴承(13)，且用压盖(16)压紧转盘轴承(13)内圈。

6.根据权利要求5所述的抛光机下盘装置，其特征在于：转盘轴承(13)外圈固定在轴承座(14)上，轴承座(14)通过箱体垫板(15)固定在箱体组件(18)上。

7.根据权利要求6所述的抛光机下盘装置，其特征在于：支撑盘(11)上装有真空轴(9)，真空轴(9)穿过齿轮轴(8)伸出到主减速机(6)下端与旋转接头(17)连接。

8.根据权利要求7所述的抛光机下盘装置，其特征在于：主电机(1)通过电机垫板(5)固定在箱体组件(18)上。