[实用新型]一种观察松散块状样品的扫描电镜用样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是一种观察松散块状样品的扫描电镜用样品台，包括圆台、铜网罩、调位螺栓和磁性环。圆台包括主台、样品孔、铜网罩安装槽和调位螺栓孔，铜网罩包括环形套筒、铜网和磁性圆柱，铜网罩插入安装槽中，依靠镶嵌在环形套筒端部的磁性圆柱与镶嵌在安装槽底部的磁性环间的吸力，将铜网罩与圆台连接在一起，调位螺栓可以调整样品的高度。本实用新型保证了松散块状样品的放置稳定性并对样品进行了有效防护，脱离块体的小颗粒不会污染扫描电镜，利用铜网的网格空隙观察的样品形貌真实清晰，不需要使用导电胶带，节约了科研成本，扩大了样品台的使用范围，是扫描电镜用样品台方面的创新。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别是一种观察松散块状样品的扫描电镜用样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。扫描电镜的一个重要特点是景深大，扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大数十倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其它显微镜更多的信息，具有极大的使用价值。扫描电镜所显示的样品形貌在教学、科研和生产中，有着其它电镜不可替代的作用。

样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的特征。由于扫描电镜自身结构特点，待观测的试样需要稳定地安置于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的入射方向。

在科研和生产过程中观察松散块状样品时，技术人员普遍遇到了下述问题：

因为样品呈块状且松散(如粘土块、蓬松的水泥砂浆块等)，样品放置困难，很难固定。目前行业内常用的做法是将样品用宽导电胶带包裹起来，只露出上表面，然后将其粘贴在样品台上。这样的做法存在如下缺点：①用宽导电胶带包裹样品时易造成块状样品碎裂，损坏样品，无法进行观察测试；②包裹好的样品放置在样品台上时容易脱落，污染扫描电镜的观察仓，需要经常检修，工作效率低；③观察样品表面时，由于要不断移动样品台，会造成松散块状样品上表面颗粒脱离整块样品，脱离的颗粒在样品台移动过程中会飞溅飞扬出来，污染扫描电镜的物镜和观察仓，影响观察测试工作的进行；④需要用较多的导电胶带，科研成本高。

申请号201220633393.6的专利公开了一种不同厚度样品同平面测试用扫描电镜样品台，可以调节样品高度使其上表面处于同一水平面内，但存在如下问题：①样品放置孔的体积小，只能安装片状样品或密实的块状样品，不能安装松散的块状样品；②对样品的上表面没有任何保护措施，在样品台的移动过程中散落的小颗粒会污染扫描电镜的物镜和观察仓。

如何解决上述问题，是本领域技术人员工作的当务之急。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种观察松散块状样品的扫描电镜用样品台，解决如下技术问题：①如何将松散块状样品稳定地放置在样品台上，使其在观察的过程中不会脱落；②如何在保证观察顺利进行的同时，在样品台移动过程中，从松散块状样品上脱离的小颗粒不会因脱落而污染扫描电镜的物镜和观察仓；③如何使不同大小的样品上表面处于同一水平面内，扩大样品台的使用范围。

本实用新型采用如下技术方案：一种观察松散块状样品的扫描电镜用样品台，包括圆台、铜网罩、调位螺栓和磁性环，所述的圆台是圆柱形，包括主台、样品孔、铜网罩安装槽和调位螺栓孔，所述的样品孔位于主台的上半部，所述的调位螺栓孔位于主台的下半部，所述的样品孔上端圆周外沿设有铜网罩安装槽，所述的铜网罩安装槽底部镶嵌有磁性环。

所述的铜网罩包括环形套筒、铜网和磁性圆柱，所述的环形套筒一端与铜网连接在一起，所述的环形套筒另一端镶嵌有磁性圆柱，每个环形套筒上有两个磁性圆柱。

所述的调位螺栓安装在圆台的调位螺栓孔内。