[实用新型]一种晶舟夹取装置有效

专利信息
申请号: 201922120376.7 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN210668317U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 王嘉伟;徐智文;王志伟 申请(专利权)人: 福建省福联集成电路有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 徐剑兵;张忠波
地址: 351117 福建省莆*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶舟夹取 装置
【权利要求书】:

1.一种晶舟夹取装置,其特征在于,包括:固定座、第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机;

所述第二夹具设置于固定座上,所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂,第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂,所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上,并与所述往复运动机构相连;

所述电机固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接,用于为所述往复运动机构提供动力,且使所述第一夹具在所述第二夹具侧边上下往复运动;

固定座用于与夹取控制器上的轴杆连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置,其特征在于,所述往复运动机构包括齿条、齿轮;

所述齿条固定连接在所述第一夹具上,所述电机用于给所述齿轮提供动力,且所述齿条、齿轮相互啮合;所述电机通过啮合驱动所述第一夹具在所述第二夹具上的第一位置与第二位置之间移动,用于抓取不同尺寸的晶舟。

3.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置,其特征在于,所述第一夹臂滑动连接于所述第二夹具内侧。

4.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置,其特征在于,还包括:夹取控制器、轴杆;

所述固定座与轴杆相连,并设置于所述轴杆的前端,所述轴杆设置于所述夹取控制器上。

5.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置,其特征在于,所述第一夹臂或者第二夹臂为凵型。

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