[实用新型]一种掩膜版用的干燥装置有效

专利信息
申请号: 201922122095.5 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN211012194U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 侯广杰;叶小龙 申请(专利权)人: 深圳市龙图光电有限公司
主分类号: F26B9/10 分类号: F26B9/10;F26B25/18;F26B21/00
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 彭家恩;郭燕
地址: 518104 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜版用 干燥 装置
【说明书】:

本申请公开了一种掩膜版用的干燥装置,包括晾板架,晾板架包括架体和晾板部,架体用于支撑晾板部,晾板部呈台阶状,晾板部包括间隔设置的若干晾板侧壁和晾板底壁,晾板侧壁和晾板底壁依次连接,晾板侧壁用于与掩膜版的上侧接触,晾板底壁用于承载掩膜版的下侧。当需要晾干掩膜版时,将掩膜版的下侧放置在晾板底壁上,将掩膜版的上侧靠在晾板侧壁上,使得掩膜版倾斜放置在晾板部上。通过台阶状结构的晾板部,有效利用了立体空间,增大了晾板架能够放置掩膜版的数量,有利于批量晾干掩膜版。

技术领域

本申请涉及掩膜版技术领域,特别涉及一种掩膜版用的干燥装置。

背景技术

掩膜版为一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板。掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。

在清洗掩膜版后,需要将掩膜版放置到通风处晾干,具体的,有的技术方案中将掩膜版平铺到晾干架上进行晾干。但是,现有的晾干架仅有一个用于承载掩膜版的承载平面,能够同时放置的掩膜版数量较少,当清洗的掩模版数量较多,需要批量晾干掩膜版时,现有的晾干架用于放置掩膜版的面积常常不够用,无法对清洗后的掩膜版进行同时晾干,故而有待改进。

发明内容

本申请提供一种掩膜版用的干燥装置,用以解决现有晾干架能够同时放置的掩模板数量较少的问题。

本申请所提供的一种掩膜版用的干燥装置,包括晾板架,所述晾板架包括架体和晾板部,所述架体用于支撑晾板部,所述晾板部呈台阶状,所述晾板部包括间隔设置的若干晾板侧壁和晾板底壁,所述晾板侧壁和晾板底壁依次连接,所述晾板侧壁用于与掩膜版的上侧接触,所述晾板底壁用于承载掩膜版的下侧。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述晾板底壁具有第一通孔。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述晾板底壁具有导水槽,所述导水槽与第一通孔连通,用于将掩膜版上流下的残留水导入第一通孔。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述晾板侧壁具有第二通孔。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述晾板底壁上凸起设置有防滑栏,用于阻止掩膜版在晾板底壁上滑动。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述架体包括支撑侧板和支撑底板,所述支撑侧板沿支撑底板的周向凸起设置,所述晾板部与支撑侧板连接,所述支撑侧板、支撑底板和晾板部围合形成内腔。

作为所述干燥装置的进一步改进,所述支撑侧板和支撑底板具有第三通孔。

作为所述干燥装置的进一步改进,还包括排水管,所述排水管设置在支撑侧板的底部,用于将内腔内残留水排出。

作为所述干燥装置的进一步改进,还包括风机,所述风机用于向晾板部吹风。

作为所述干燥装置的进一步改进,还包括整流罩,所述整流罩设置在风机的出风口。

本申请的有益效果:

本申请所提供的一种掩膜版用的干燥装置,包括晾板架,晾板架包括架体和晾板部,架体用于支撑晾板部,晾板部呈台阶状,晾板部包括间隔设置的若干晾板侧壁和晾板底壁,晾板侧壁和晾板底壁依次连接,晾板侧壁用于与掩膜版的上侧接触,晾板底壁用于承载掩膜版的下侧。当需要晾干掩膜版时,将掩膜版的下侧放置在晾板底壁上,将掩膜版的上侧靠在晾板侧壁上,使得掩膜版倾斜放置在晾板部上。通过台阶状结构的晾板部,有效利用了立体空间,增大了晾板架能够放置掩膜版的数量,有利于批量晾干掩膜版。

附图说明

图1为本申请一种实施例中掩膜版用的干燥装置的结构示意图。

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