[实用新型]一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备有效

专利信息
申请号: 201922124266.8 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN210575871U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 杨雪松;吴天骄;孙健 申请(专利权)人: 江苏纳沛斯半导体有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 223002 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 缩小 ic 尺寸 英寸 晶圆金凸块 加工 封装 设备
【说明书】:

实用新型涉及加工技术领域,且公开了一种可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,包括框体,所述框体的顶部固定安装有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的底部固定安装有封装板,所述封装板的底部活动安装有上晶圆板。该可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,通过设置步进电机旋转带动套管一并转动,使得套管内部活动连接着的伸缩杆带动夹头转动,从而将夹头夹持的连接螺杆与连接件进行螺纹连接,方便了对晶圆板的组装,提高晶圆盒的组装效率,通过将晶圆盒分成上晶圆板与下晶圆板,同时将上晶圆板的底部设置成弧形,因此在组合过程中避免了对晶圆块的接触防止晶圆块的损坏。

技术领域

本实用新型涉及加工技术领域,具体为一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品,晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅,二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅。

晶圆的用途广泛,且造价较为昂贵因此属于一种需要保护的物品,为了最大程度的避免晶圆块的意外损坏,故而提出了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备来解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,具备组装效率高、保障晶圆完整等优点,解决了意外损耗的问题。

(二)技术方案

为实现上述组装效率高、保障晶圆完整的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,包括框体,所述框体的顶部固定安装有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的底部固定安装有封装板,所述封装板的底部活动安装有上晶圆板,所述上晶圆板的底部两侧均固定连接有插接件,所述框体的内壁两侧均固定安装有电机固定架,两个所述电机固定架的内部固定安装有步进电机,两个所述步进电机相对的一侧均活动安装有轴承,两个所述轴承的内部活动安装有转杆,两个所述转杆相对的一端均固定连接于套管,两个所述套管的内部均活动安装有伸缩杆,两个所述伸缩杆相对的一端均固定安装有夹头,两个所述夹头的内部均活动安装有连接螺杆,两个所述连接螺杆的外部均螺纹连接有连接件,两个所述连接件的底部固定连接有下晶圆板,所述下晶圆板的底部固定连接有底座,所述框体的底部固定安装有底板。

优选的,所述下晶圆板的内部开设有两个对接槽,且对接槽与两个插接件相适配。

优选的,所述电动推杆贯穿顶板并延伸至框体的内部并固定连接封装板。

优选的,所述上晶圆板的内部开设有通孔,且通孔与连接螺杆相适配。

优选的,所述上晶圆板的底部形状为弧形,与晶圆凸块形状相匹配。

优选的,述步进电机通过转杆与套管固定连接。

(三)有益效果

与现有技术相比,本实用新型提供了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,具备以下有益效果:

1、该可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,通过设置步进电机旋转带动套管一并转动,使得套管内部活动连接着的伸缩杆带动夹头转动,从而将夹头夹持的连接螺杆与连接件进行螺纹连接,方便了对晶圆板的组装,提高晶圆盒的组装效率。

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