[实用新型]一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备有效
申请号: | 201922124266.8 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN210575871U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 杨雪松;吴天骄;孙健 | 申请(专利权)人: | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 223002 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 缩小 ic 尺寸 英寸 晶圆金凸块 加工 封装 设备 | ||
本实用新型涉及加工技术领域,且公开了一种可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,包括框体,所述框体的顶部固定安装有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的底部固定安装有封装板,所述封装板的底部活动安装有上晶圆板。该可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,通过设置步进电机旋转带动套管一并转动,使得套管内部活动连接着的伸缩杆带动夹头转动,从而将夹头夹持的连接螺杆与连接件进行螺纹连接,方便了对晶圆板的组装,提高晶圆盒的组装效率,通过将晶圆盒分成上晶圆板与下晶圆板,同时将上晶圆板的底部设置成弧形,因此在组合过程中避免了对晶圆块的接触防止晶圆块的损坏。
技术领域
本实用新型涉及加工技术领域,具体为一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品,晶圆的原始材料是硅,而地壳表面有用之不竭的二氧化硅,二氧化硅矿石经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了高纯度的多晶硅。
晶圆的用途广泛,且造价较为昂贵因此属于一种需要保护的物品,为了最大程度的避免晶圆块的意外损坏,故而提出了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备来解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,具备组装效率高、保障晶圆完整等优点,解决了意外损耗的问题。
(二)技术方案
为实现上述组装效率高、保障晶圆完整的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种可缩小IC尺寸的英寸晶圆金凸块加工封装设备,包括框体,所述框体的顶部固定安装有顶板,所述顶板的顶部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的底部固定安装有封装板,所述封装板的底部活动安装有上晶圆板,所述上晶圆板的底部两侧均固定连接有插接件,所述框体的内壁两侧均固定安装有电机固定架,两个所述电机固定架的内部固定安装有步进电机,两个所述步进电机相对的一侧均活动安装有轴承,两个所述轴承的内部活动安装有转杆,两个所述转杆相对的一端均固定连接于套管,两个所述套管的内部均活动安装有伸缩杆,两个所述伸缩杆相对的一端均固定安装有夹头,两个所述夹头的内部均活动安装有连接螺杆,两个所述连接螺杆的外部均螺纹连接有连接件,两个所述连接件的底部固定连接有下晶圆板,所述下晶圆板的底部固定连接有底座,所述框体的底部固定安装有底板。
优选的,所述下晶圆板的内部开设有两个对接槽,且对接槽与两个插接件相适配。
优选的,所述电动推杆贯穿顶板并延伸至框体的内部并固定连接封装板。
优选的,所述上晶圆板的内部开设有通孔,且通孔与连接螺杆相适配。
优选的,所述上晶圆板的底部形状为弧形,与晶圆凸块形状相匹配。
优选的,述步进电机通过转杆与套管固定连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,具备以下有益效果:
1、该可缩小IC尺寸的8英寸晶圆金凸块加工封装设备,通过设置步进电机旋转带动套管一并转动,使得套管内部活动连接着的伸缩杆带动夹头转动,从而将夹头夹持的连接螺杆与连接件进行螺纹连接,方便了对晶圆板的组装,提高晶圆盒的组装效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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