[实用新型]一种晶圆测试夹具

权利要求书

1.一种晶圆测试夹具，包括芯片测试座(3)，其特征在于：所述芯片测试座(3)的顶端固定安装有定位气缸(6)，所述定位气缸(6)共实质上有四个，四个所述定位气缸(6)呈矩形阵列状分布于芯片测试座(3)的顶端，所述定位气缸(6)的内侧滑动连接有活塞杆(5)，所述活塞杆(5)的末端固定连接有导向杆安装板(4)，所述导向杆安装板(4)的一侧固定连接有测试头导向滑杆(1)，所述芯片测试座(3)的顶端放置有芯片吸嘴版(7)，所述芯片吸嘴版(7)的四周设置有与测试头导向滑杆(1)相对应的定位凹槽(2)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试夹具，其特征在于：所述芯片吸嘴版(7)的底端连接有真空泵连接管。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试夹具，其特征在于：所述芯片吸嘴版(7)的顶端通过负压吸引嘴吸附晶圆(8)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆测试夹具，其特征在于：所述导向杆安装板(4)的活塞杆(5)均朝向远离芯片吸嘴版(7)的一侧设置。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆测试夹具，其特征在于：所述芯片吸嘴版(7)为中空板状结构。