[实用新型]一种用于晶棒头尾切割的夹具

说明书

本实用新型提供一种用于晶棒头尾切割的夹具，包括晶棒夹持部分、高度调节装置、盛接装置；晶棒夹持部分包括竖直方向的圆筒形夹具，圆筒形夹具包括第一半圆弧形夹片、第二半圆弧形夹片，第一半圆弧形夹片与第二半圆弧形夹片的一端铰接；第一半圆弧形夹片与第二半圆弧形夹片的另一端通过螺栓固定装置锁闭；螺栓固定装置包括转动座、卡座、锁定杆；转动座固定设置在第一半圆弧形夹片的外侧靠近端部处；卡座固定设置在第二半圆弧形夹片的外侧靠近端部处，将不规则的晶棒头尾部分一次性切割完成，提高晶棒头尾加工的效率，掉落的晶棒头尾部分掉落到盛接装置，方便取出，同时避免掉落体对设备的损坏。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，具体涉及一种用于晶棒头尾切割的夹具。

背景技术

无论是生长出来的圆柱形晶棒，还是利用掏棒机加工出来的圆柱形晶棒都需要对晶棒两端的不规整部分进行切割后才可以进行后续的精确加工，为避免切割掉落的晶体损坏切割机，现有的部分晶棒切割头尾装置大都是将晶棒切割至剩余1-5mm左右，然后敲击打断这部分，取下不规整的头尾面后，在对规整的圆柱形晶棒进行后续加工，部分厂家切完几个晶棒头尾后，停机再取出切割后的晶体头尾，进行下一批晶棒的加工。

敲击的方式可能导致晶体的开裂，停机再取出晶体头尾的方式，需要停机以及人工清理，耗费时间大，导致生产不能连续进行，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶棒头尾切割的夹具。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶棒头尾切割的夹具，包括晶棒夹持部分、高度调节装置、盛接装置；

晶棒夹持部分包括竖直方向的圆筒形夹具，圆筒形夹具包括第一半圆弧形夹片、第二半圆弧形夹片，第一半圆弧形夹片与第二半圆弧形夹片的一端铰接；第一半圆弧形夹片与第二半圆弧形夹片的另一端通过螺栓固定装置锁闭；

螺栓固定装置包括转动座、卡座、锁定杆；转动座固定设置在第一半圆弧形夹片的外侧靠近端部处；卡座固定设置在第二半圆弧形夹片的外侧靠近端部处，卡座上设置安装锁定杆的开槽；转动座上转动设置转动轴；转动轴的侧壁上沿径向开设贯穿的螺纹孔；

锁定杆上靠近一端的外侧壁设置与螺纹孔螺纹连接的外螺纹，锁定杆另一端固定设置旋转把手，锁定杆的中部固定设置与卡座配合锁定的限位块；当夹具处于锁闭状态时，锁定杆位于开槽中，限位块与开槽上背离转动座的外侧面抵紧锁定；

高度调节装置包括竖直设置的滑杆、固定在夹具外侧壁的滑动座，滑动座滑动套设在滑杆上，滑动座上设置与滑杆配合锁定的压紧件；盛接装置固定在滑杆的下端，盛接装置的盛接面位于夹具的正下方。

高度调节装置，用于调整夹具与盛接装置之间的距离，以适应不同尺寸的晶棒加工。夹具用于固定晶棒，待晶棒放入到夹具中后，闭合第一半圆弧形夹片和第二半圆弧形夹片，转动锁定杆，使得锁定杆限位在开槽中，转动旋转把手，使得锁定杆转动的同时轴向移动，从而带动限位块锁紧在卡座表面上，从而将夹具锁闭，晶棒被夹紧。

进一步的，压紧件为杆状结构，压紧件外侧壁与滑动座上的穿孔内壁螺纹连接，压紧件一端穿过滑动座的穿孔后与滑杆侧壁配合锁定。压紧件的设置，对滑动座起到锁定作用，提高了滑动座的稳定性，使得切割设备准确、高效的工作。