[实用新型]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

在衬底上依次形成的第一隔离层、膜片和第二隔离层；

在所述第二隔离层上依次形成的第一保护层、第二保护层、背极板电极、第三保护层和第四保护层；以及

贯穿所述衬底和所述第一隔离层的声腔，

其中，所述背极板电极形成在所述膜片的可动区域上方，并且所述背极板电极的面积小于等于所述膜片的可动区域的面积。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板电极的面积小于等于所述声腔的最小横截面积。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背极板电极的面积为所述可动区域的70％～100％。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片包括中间部分和周边部分、以及连接二者的弹簧结构，所述膜片的可动区域包括所述中间部分的区域和所述弹簧结构的区域。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述声腔最小横截面的半径为385微米～415微米。

6.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一隔离层和所述第二隔离层夹持所述膜片的周边部分的至少部分区域。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

贯穿所述第一保护层、所述第二保护层、所述背极板电极、所述第三保护层和所述第四保护层的释放孔；以及

贯穿所述第二隔离层的空腔，所述空腔与所述释放孔连通，

在所述膜片的振动期间，所述声腔和所述释放孔作为气流通道。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：至少覆盖在所述膜片的暴露表面上的单分子层有机膜。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

位于所述单分子层有机膜的表面的金属氧化物膜、氧化硅膜中的至少一层附加膜，所述附加膜与所述单分子层有机膜形成叠层结构。

10.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述单分子层有机膜覆盖所述MEMS麦克风的外部表面以及与外部环境连通的内部表面。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述单分子层有机膜覆盖所述第一保护层在所述空腔中的暴露表面。

12.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片和所述背极板电极分别由掺杂的多晶硅组成。

13.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一保护层至所述第四保护层中的每一个由选自氮化硅层、氮化硼层、碳化硅层中的任一种组成，并且所述第一保护层与所述第二保护层的组成材料不同，所述第三保护层和所述第四保护层的组成材料不同。

14.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述膜片的弹簧结构为同心环形的褶皱部分或者螺旋状的褶皱部分。

15.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

第一导电通道，穿过所述第四保护层、所述第三保护层、所述第二保护层、所述第一保护层、以及所述第二隔离层到达所述膜片表面；以及

第二导电通道，穿过所述第四保护层、以及所述第三保护层到达所述背极板电极表面。

16.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一保护层面对所述膜片的表面上形成多个突起物，以防止所述背极板电极与所述膜片之间的粘连。