[实用新型]一种芯粒测试装置

权利要求书

1.一种芯粒测试装置，用于测量不同温湿度环境下芯粒的光电性能参数，包括，

载盘，用于放置芯粒，所述载盘设置有真空吸孔；

真空机构，对所述真空吸孔抽真空，用于吸附芯粒；

积分球，设置于所述载盘的上方，用于感测光电性能参数；

其特征在于：还包括，

寻边器，设置于所述载盘的上方，用于对芯粒定位；

点测针，与所述寻边器连接，用于点测芯粒；

遮蔽机构，设置于所述积分球的下端，用于罩住芯粒，形成一封闭空间；

加热机构，设置于真空吸孔中，用于加热芯粒；

加湿机构，设置于载盘的上方，用于对封闭空间内喷洒水蒸汽；

感测机构，设置于遮蔽机构的外侧，用于监测芯粒所处的温湿度环境；

控制器，与真空机构、积分球、寻边器、遮蔽机构、加热机构、加湿机构和感测机构连接，用于控制整个测试装置的运行。

2.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构为两端均开口的中空结构，所述中空结构的下端开口罩住若干芯粒。

3.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构上设置有通孔，加湿机构伸入通孔中对封闭空间内喷洒水蒸汽。

4.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构是由导杆和若干折叠部构成的伸缩结构。

5.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：还包括吸头，位于载盘的一侧，用于吸取测试完毕的芯粒。

6.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述加湿机构包括调节结构和管道，调节结构位于管道上，用于调节管道的水汽输出量。

7.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述加热机构为针状结构，包括针头和针身，在加热升温时，针头接触芯粒底部，针身周围设置有隔热层。

8.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述感测机构包括湿度传感器和温度传感器，分别用于感测湿度和温度。

9.根据权利要求8所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述温度传感器为红外温度传感器。