[实用新型]用于掩膜版制作的气体供给装置

说明书

一种用于掩膜版制作的气体供给装置，包括控制设备、主供气设备、辅助供气设备以及缓压储气罐；所述主供气设备和辅助供气设备中，一个采用螺杆式空气压缩机，另一个采用活塞式空气压缩机；所述控制设备分别与螺杆式空气压缩机和活塞式空气压缩机连接，用以控制螺杆式空气压缩机和活塞式空气压缩机的打开和关闭，所述螺杆式空气压缩机通过第一管道与所述缓压储气罐进行连通，所述活塞式空气压缩机通过第二管道与所述缓压储气罐进行连通，所述缓压储气罐具有用于与用气设备连通的出气通道，提供更多的供气方式供选择，保障供气稳定，使得掩膜版制作效率提高。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制作领域，具体涉及一种用于掩膜版制作的气体供给装置。

背景技术

掩膜版是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜或光阻层薄膜，材质为高纯度融石英或其它材质的玻璃载板组合而成模具。在掩膜版的制造过程中，需要用到干燥、无油的压缩空气，因此需要供气系统进行供气。现有技术中，为了避免耗电量高、供气压力不稳定的问题，采用手动循环，用小功率活塞式无油空气压缩机来代替水润滑螺杆无油空气压缩机，以便能够减小能耗。但这种气体供给系统仍存在问题。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于掩膜版制作的气体供给装置，以提供更多的供气方式供选择。

本实用新型提供了包括控制设备、主供气设备、辅助供气设备以及缓压储气罐；所述主供气设备和辅助供气设备中，一个采用螺杆式空气压缩机，另一个采用活塞式空气压缩机；所述控制设备分别与所述螺杆式空气压缩机和所述活塞式空气压缩机连接，用以控制所述螺杆式空气压缩机和所述活塞式空气压缩机的打开和关闭，所述螺杆式空气压缩机通过第一管道与所述缓压储气罐进行连通，所述活塞式空气压缩机通过第二管道与所述缓压储气罐进行连通，所述缓压储气罐具有用于与用气设备连通的出气通道。

进一步地，所述第一管道上设有第一单向阀；所述第二管道上设有第二单向阀。

进一步地，还包括变频器，所述变频器连接在所述控制设备和所述螺杆式空气压缩机之间；或者，所述变频器连接在所述控制设备和所述活塞式空气压缩机之间。

进一步地，还包括干燥系统，所述干燥系统设置在所述缓压储气罐与所述用气设备之间出气通道上，且与所述控制设备连接。

进一步地，还包括压力变送器，所述压力变送器位于所述缓压储气罐和所述干燥系统之间，且与所述控制设备连接。

进一步地，还包括温湿度变送器，所述温湿度变送器一端与所述干燥系统连接，另一端与所述控制设备连接。

进一步地，还包括压力传感器，所述压力传感器连接在温湿度变送器与所述控制设备之间。

进一步地，还包括压力传感器，所述压力传感器一端与所述干燥系统连接，另一端与所述控制设备连接。

依据上述实施例提供的一种掩膜版制作的气体供给装置，由于所述控制设备分别与主供气设备和辅助供气设备连接，其中，所述主供气设备和辅助供气设备中，一个采用螺杆式空气压缩机，另一个采用活塞式空气压缩机；所述主供气设备和辅助供气设备给用气设备提供更多的供气方式供选择，保障供气稳定，使得掩膜版制作效率提高。

附图说明

图1为本申请一实施例提供的用于掩膜版制作的气体供给装置示意图；

图2为本申请另一实施例提供的用于掩膜版制作的气体供给装置示意图。

具体实施方式