[实用新型]用于半导体设备零件弧形弯道电火花加工的固定夹具

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体设备零件弧形弯道电火花加工的固定夹具，它解决现有弯道不能在电火花机床上装夹的问题，该夹具包括固定块和连接装置，固定块底部为用来在电火花机床上装夹的平面，固定块上表面为三个与弯道底面适配的三个台阶面，最高台阶面相接有与底面平行的基准加工面，固定块上三个台阶面上设有二个以上的定位孔，连接装置通过螺钉将固定块与弯道固接。本实用新型将固定块作为辅助工装，通过设置三个与弯道底部适配的台阶面，实现与弯道的快速装夹和准确定位，能够使底部带台阶面的弯道能够实现在电火花机床上进给加工，提高了弯道生产效率，降低了弯道生产成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备零件弧形弯道电火花加工，尤其电火花加工机床上用来固定半导体设备零件弯道用的夹具。

背景技术

在半导体自动冲切成型设备中，经塑封成型剪切等工序得到的最终产品是通过弯道来滑动和收集的，弯道如图1所示，表面滑槽呈圆弧性，底面有三个台阶面，尺寸精度±0.01高，表面光洁度高，是冲切成型设备中关键零件和难加工件。由于弯道上的滑槽壁厚度0.3mm，用数控铣等方法加工易造成滑槽变形、崩缺，产品合格率低，生产成本高。为解决上述问题，人们采用电火花机床加工弯道上的滑槽，但电火花只适合平面加工，圆弧形的弯道零件的底面为台阶面，使得在电火花机床上能装夹和寻找加工基准带来了困难。

实用新型内容

本实用新型的目的就是解决半导体零件弯道弧形薄壁槽电火花加工装夹和寻找加工基准困难的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案是：用于半导体设备零件弧形弯道电火花加工的固定夹具，其特征是该夹具包括固定块和连接装置，所述的固定块底部为用来在电火花机床上装夹的平面，固定块上表面为三个与弯道底面适配的三个台阶面，最高台阶面相接有与底面平行的基准加工面，固定块上三个台阶面上设有二个以上的定位孔，连接装置将固定块与弯道固接。

采用上述技术方案，将固定块与弯道通过销钉在定位孔内定位后用连接装置连接固定，使它们中心重合在一起，达到快速定位及定位准确作用，再使用电火花机床进行放电加工。

优选的，所述的连接装置包括设置在固定块台阶面上的螺孔及与螺孔适配的螺钉，通过螺钉与螺孔的连接实现固定块与弯道的固接。也可以使用焊接、铆接或其他连接方式。

进一步的改进，所述的固定块三个台阶面相邻两个台阶面之间设有退让槽。

优选的，所述固定块上的螺孔和定位孔各有二个，对称分布在中心线两侧。

综上所述，本实用新型有益效果是：本实用新型将固定块作为辅助工装，通过设置三个与弯道底部适配的台阶面，实现与弯道的快速装夹和准确定位，能够使底部带台阶面的弯道能够实现在电火花机床上进给加工，提高了弯道生产效率，降低了弯道生产成本。

附图说明

图1为弯道截面示意图；

图2为本实用新型示意图；

图3为图2的俯视图；

图4为装配示意图。

图中，1、固定块，2、加工基准面，3、退让槽，4、定位孔，5、螺孔，6、弯道。

具体实施方式

如图2、图3所示，用于半导体设备零件弧形弯道电火花加工的固定夹具，该夹具包括固定块1和连接装置，固定块1为铸钢制成，固定块1底部为用来在电火花机床上装夹的平面，四个侧面为与底面垂直的平面，构成直棱柱体。固定块1上表面为三个与弯道底面适配的三个台阶面，最高台阶面相接有与底面平行的基准加工面2，固定块1上三个台阶面上设有二个以上的定位孔4，连接装置将固定块1与弯道6固接。连接装置可以有多种方式，如焊接、铆接等等，本实施例的连接装置为螺纹连接，它包括设置在固定块1台阶面上的螺孔5及与螺孔适配的螺钉，通过螺钉与螺孔的连接实现固定块1与弯道6的固接，如图4所示。固定块1三个台阶面相邻两个台阶面之间设有退让槽3。所述固定块1上的螺孔5和定位孔4各有二个，对称分布在中心线的两侧。