[实用新型]一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具

说明书

本实用新型公开了一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具，包括活动块接头、密封圈、气压表、阀门和管道口，所述的密封圈一端嵌入活动块接头，另一端与管道口一端套接，管道口另一端为开放端，所述的阀门和气压表设置在管道口上，本实用新型构造简单，显示直观，可在净空房进行检测，不会污染部品，活动接头连接，检测方便快捷，缩短作业时间，提高作业效率。

技术领域

本实用新型涉及一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具。

背景技术

Anode Bar装置是安装在TFT设备内部，工作时在外部真空洁净环境下，通入循环水，冷却靶材部件。所以在Anode Bar装置的清洗再生过程中，对该部件的检漏是非常重要的，在真空环境下任何微小的泄漏都不被允许。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括活动块接头、密封圈、气压表、阀门和管道口，所述的密封圈一端嵌入活动块接头，另一端与管道口一端套接，管道口另一端为开放端，所述的阀门和气压表设置在管道口上。

优选的，所述密封圈与活动块接头连接端设有凹槽，凹槽为长方形，长方形两个短边为弧形。

优选的，该治具材料为不锈钢或树脂。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、构造简单，显示直观。

2、可在部件洗净再生后净空房进行检测，不会污染部品。

3、检测方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型密封圈结构示意图。

图中：1活动块接头，2密封圈，3气压表，4阀门，5管道口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种TFT设备Anode Bar装置部件检漏治具，包括活动块接头1、密封圈2、气压表3、阀门4和管道口5，所述的密封圈2一端嵌入活动块接头1，另一端与管道口5一端套接，管道口5另一端为开放端，所述的阀门4和气压表3设置在管道口5上，该治具材料为不锈钢或树脂。

密封圈2与活动块接头1连接端设有凹槽，凹槽为长方形，长方形两个短边为弧形。

工作原理：将本治具直接通过活动块接头1连接Anode Bar装置注水口，将管道口连接净空房压缩空气接口，打开阀门4，待气压表3指示到指定压力，关闭阀门，静置15min,观察气压表压力变化情况，判定是否Anode Bar装置密封性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。