[实用新型]一种芯片检测设备的顶升检测组件

权利要求书

1.一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：包括固定在设备上的检测组件安装板(1)及设置在检测组件安装板(1)上的检测组件水平导轨(21)、检测组件水平气缸(22)，所述检测组件水平导轨(21)上设置有检测组件水平滑动安装板(23)，所述检测组件水平气缸(22)的输出端连接到检测组件水平滑动安装板(23)上并可推动检测组件水平滑动安装板(23)在检测组件水平导轨(21)上滑动，所述检测组件水平滑动安装板(23)上设置有检测组件竖直安装板(3)，所述检测组件竖直安装板(3)上设置有检测组件竖直导轨(31)、检测组件顶升丝杆螺母副(32)及检测组件顶升驱动电机(33)，所述检测组件竖直导轨(31)上设置有检测组件竖直滑动安装座(34)，所述检测组件顶升驱动电机(33)的输出端连接到检测组件顶升丝杆螺母副(32)的丝杆一端，所述检测组件顶升丝杆螺母副(32)的螺母连接到检测组件竖直滑动安装座(34)上，所述检测组件竖直滑动安装座(34)上固定安装有芯片检测装置(35)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述芯片检测装置(35)为积分球装置，所述积分球装置的上部孔口处设置有透明玻璃盖(350)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件水平气缸(22)通过水平气缸安装座(221)固定安装在检测组件安装板(1)底部，检测组件水平气缸(22)的输出端通过水平气缸连接块(222)固定连接到检测组件水平滑动安装板(23)上。

4.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件水平滑动安装板(23)侧部设置有水平滑动限位块(231)，所述检测组件安装板(1)底部设置有配合所述水平滑动限位块(231)使用的水平滑动限位座(11)，所述水平滑动限位座(11)上设置有弹性限位杆(12)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件顶升驱动电机(33)通过顶升驱动电机安装座(331)安装在检测组件竖直安装板(3)底部，检测组件顶升驱动电机(33)的输出端设置有检测组件联轴器(36)并通过所述检测组件联轴器(36)连接到检测组件顶升丝杆螺母副(32)的丝杆一端。

6.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件竖直安装板(3)侧壁设置有检测组件顶升传感器(371)，所述检测组件竖直滑动安装座(34)上设置有配合所述检测组件顶升传感器(371)的检测组件顶升感应片(372)。

7.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件水平滑动安装板(23)通过检测组件水平滑座(211)安装在检测组件水平导轨(21)上，所述检测组件竖直滑动安装座(34)通过检测组件竖直滑座(311)安装到检测组件竖直导轨(31)上。

8.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的顶升检测组件，其特征在于：所述检测组件竖直安装板(3)侧部设置有检测组件侧部加强板(38)。