[实用新型]一种平面度调整机构

权利要求书

1.一种平面度调整机构，其特征在于，包括底座、通过若干组调节组件安装于所述底座上的调节板和固定于所述调节板上的真空平台，所述底座上凸设有一球面凸台，所述调节板的下方凹设有与所述球面凸台配合的球形凹槽，所述底座与所述调节板之间具有间隙，每一组所述调节组件均包括一个与所述底座和所述调节板旋接用以调节所述底座和所述调节板治之间距离的定位顶丝和至少一个邻近所述定位顶丝的紧固螺丝，所述紧固螺丝穿过所述调节板与所述底座的上表面抵接。

2.根据权利要求1所述的平面度调整机构，其特征在于，所述调节板的数量为两个，两个所述调节板分别通过若干所述调节组件间隔安装于所述底座上，每个所述调节板上固定有一个所述真空平台，所述底座上开设有抽真空口，所述抽真空口位于两个所述调节板之间，所述调节板靠近另一个所述调节板的一侧设有与所述抽真空口的外周平齐的第一避让缺口。

3.根据权利要求2所述的平面度调整机构，其特征在于，所述第一避让缺口邻近所述调节板的一拐角处设置，所述调节组件包括若干组第一调节组件和邻近所述第一避让缺口设置的若干组第二调节组件，所述第一调节组件包括两个所述紧固螺丝，两个所述紧固螺丝分别位于该第一调节组件中的所述定位顶丝的两侧；所述第二调节组件位于所述调节板的拐角处，所述第二调节组件包括一个所述紧固螺丝，该第二调节组件中的所述紧固螺丝位于所述定位顶丝与所述第一避让缺口之间。

4.根据权利要求3所述的平面度调整机构，其特征在于，所述调节板远离所述第一避让缺口的一侧设有一个第二避让缺口，所述第一避让缺口和所述第二避让缺口相对于所述调节板的中心线对称。

5.根据权利要求4所述的平面度调整机构，其特征在于，所述调节板邻近所述第二避让缺口的拐角处设有一组所述第二调节组件，该第二调节组件中的所述紧固螺丝位于所述定位顶丝与所述第二避让缺口之间。

6.根据权利要求1所述的平面度调整机构，其特征在于，所述底座上设有一安装槽和固定于所述安装槽的槽底的安装座，所述球面凸台安装于安装座上，所述调节板上对应所述安装槽的位置开设有一凹槽，所述球形凹槽位于所述凹槽的槽底。

7.根据权利要求1所述的平面度调整机构，其特征在于，还包括固定于所述调节板一侧的承托件，所述承托件的上表面与所述真空平台的上表面平齐。

8.根据权利要求7所述的平面度调整机构，其特征在于，所述承托件包括托盘和与所述托盘的下表面连接的连接板，所述连接板与正对其的所述调节板的侧面平行，所述连接板通过螺丝与所述调节板的侧面固定连接。

9.根据权利要求8所述的平面度调整机构，其特征在于，所述连接板上间隔设有两个长度沿竖直方向延伸的调节长孔，所述调节板的侧面对应所述调节长孔的位置设有螺纹孔，所述承托件还包括若干锁紧螺丝，所述锁紧螺丝穿过所述调节长孔与所述螺纹孔旋接。

10.根据权利要求8所述的平面度调整机构，其特征在于，所述托盘具有延伸至所述调节板的上方并邻近所述真空平台的延伸部和与所述延伸部远离所述真空平台的一端连接的托盘本体，所述延伸部上开设有供所述调节组件外露的缺口，所述连接板与所述延伸部固定连接，且所述连接板通过加强板与所述托盘本体固定连接。