[实用新型]一种弹性固定晶圆承载装置

说明书

本实用新型公开一种弹性固定晶圆承载装置，包括装置固定板、调整驱动电机、调整驱动丝杠、弹性定位组件、弧形支撑件和支撑件滑块，所述调整驱动丝杠可旋转设于丝杠放置槽中，所述支撑件滑块可滑动设于丝杠放置槽中，所述支撑件滑块上设有螺纹通孔一，所述调整驱动丝杠贯穿螺纹通孔一并相啮合，所述弧形支撑件设于支撑件滑块上，所述弹性定位组件设于调整驱动丝杠上且可滑动设于装置固定板上，所述弹性定位组件靠近弧形支撑件。本实用新型涉及一种圆晶夹持治具，具体是提供了一种通过调整弧形支撑件之间的间距可对不同直径圆晶进行支撑，同时利用弹性定位件可旋转的特点并配合限位弹簧可实现对圆晶的固定夹持，操作简单，省时省力。

技术领域

本实用新型涉及圆晶夹持治具，具体是指一种弹性固定晶圆承载装置。

背景技术

一般由于晶圆呈圆片状，对其进行加工时，传统的夹持承载装置形状固定，不能适配不同直径大小的圆晶，同时在对圆晶进行夹持时，夹持件是通过螺纹与装置固定板结合，每次夹持和取下圆晶时都必须对夹持件进行反复装卸，费时费力。

实用新型内容

为解决上述现有难题，本实用新型提供了一种通过调整弧形支撑件之间的间距可对不同直径圆晶进行支撑，同时利用弹性定位件可旋转的特点并配合限位弹簧可实现对圆晶的固定夹持，操作简单，省时省力。

本实用新型采取的技术方案如下：本实用新型一种弹性固定晶圆承载装置，包括装置固定板、调整驱动电机、调整驱动丝杠、弹性定位组件、弧形支撑件和支撑件滑块，所述装置固定板上设有丝杠放置槽，所述调整驱动丝杠可旋转设于丝杠放置槽中，所述调整驱动电机设于装置固定板中，所述调整驱动丝杠与调整驱动电机的输出端连接，所述支撑件滑块可滑动设于丝杠放置槽中，所述支撑件滑块上设有螺纹通孔一，所述调整驱动丝杠贯穿螺纹通孔一并相啮合，所述弧形支撑件设于支撑件滑块上且可滑动设于装置固定板上，所述弹性定位组件设于调整驱动丝杠上且可滑动设于装置固定板上，所述弹性定位组件靠近弧形支撑件。

进一步地，所述弹性定位组件包括定位滑块、定位固定板、限位螺栓、定位柱、弹性定位件和限位弹簧，所述定位滑块可滑动设于丝杠放置槽中，所述定位滑块上设有螺纹通孔二，所述调整驱动丝杠贯穿螺纹通孔二并相啮合，所述定位固定板设于定位滑块上且可滑动设于装置固定板上，所述限位螺栓可拆卸设于定位固定板上，所述定位柱可旋转设于限位螺栓上且可旋转设于定位固定板上，所述定位柱上设有限位通孔，所述限位弹簧套接设于限位螺栓上且设于限位通孔中，限位弹簧对定位柱起限位作用，将定位柱挤压在定位固定板上防止定位柱随意转动，所述弹性定位件设于定位柱一侧。

进一步地，所述丝杠放置槽在装置固定板上均匀间隔呈环形排列设有若干组，所述调整驱动丝杠、支撑件滑块和弧形支撑件的数量与丝杠放置槽的数量相等且一一对应，所述弧形支撑件呈外凸内凹弧形结构设置，所述若干组弧形支撑件内凹侧相互靠近设置，通过调整驱动丝杠旋转带动弧形支撑件做相互靠近和远离运动以适配不同直径的圆晶。

进一步地，所述定位组件的数量与弧形支撑件的数量相等且一一对应，所述定位组件设于弧形支撑件外凸侧。

进一步地，所述定位柱至弹性定位件活动端的间距大于定位柱至弧形支撑件外凸侧的间距，将圆晶置于弧形支撑件上，然后旋转定位柱使若干组弹性定位组件中的弹性定位件活动端从圆晶圆周方向对圆晶进行挤压固定，防止圆晶在加工过程中转动。

采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下：本方案弹性固定晶圆承载装置通过调整弧形支撑件之间的间距可适配不同直径的圆晶；利用若干组弹性定位组件中的弹性定位件旋转可从圆晶圆周方向对圆晶进行挤压固定，防止圆晶在加工过程中转动，结构合理，操作简单。

附图说明

图1为本实用新型一种弹性固定晶圆承载装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种弹性固定晶圆承载装置弹性定位组件的结构示意图。