[实用新型]用于检测硅片承载花篮的检具有效
申请号: | 201922146165.0 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN211291407U | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 陈林 | 申请(专利权)人: | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | G01B21/22 | 分类号: | G01B21/22;G01B21/24 |
代理公司: | 北京工信联合知识产权代理有限公司 11266 | 代理人: | 白晓晰 |
地址: | 651200 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检测 硅片 承载 花篮 | ||
本申请提供一种用于检测承载硅片花篮的检具,属于机械制造技术领域。检具包括:两个检测单元,各个检测单元上均设有检测部,检测部用于检测硅片承载花篮上的对应的定位槽组;可调连接件,其连接两个检测单元,且通过可调节连接件能够对检测部两个检测部之间的距离进行调节。本申请提供检具以两个检测单元进行组合,使得该检具充分检测承载硅片花篮上设置的定位槽,两个检测单元之间的支撑板起到对检具结构强度上的保障;设置的可调连接件是可调的,通过在固定板上设置的条形贯通孔并结合紧固螺栓调节两个检测单元之间的距离,以适用于检测多种尺寸的承载硅片花篮;设置的调距螺栓保证其配合可调连接件共同调节两个检测单元之间的距离。
技术领域
本实用新型属于机械制造技术领域,具体涉及一种检测承载硅片花篮的可调边距检具。
背景技术
在晶体硅太阳能电池的生产制造过程中,生产所用硅片花篮在使用过程中因为对温度、机械力以及磕碰等原因造成变形,需要经常检具对硅片定位槽进行平行度、对称度等技术指标进行检验,以判断是否能继续使用于生产工艺环节中。
关于硅片定位槽,花篮器具上与用于定位/承载硅片的有多个凹槽谷形的部位,一般使用杆件或板件作为框架作为承载。
现有技术中,所用的检具只能检测同一平面上的硅片定位槽的齿槽平行度以及对称度,不能同时对硅片花篮上的所有定位槽进行同时校验。且所用检具在使用过程中存在磨损或外力挤压影响造成的尺寸变后不可调,造成成本的浪费。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种用于检测硅片承载花篮的检具,以解决现有技术中的检具不能同时检测硅片花篮上的定位槽,以及所用检具的尺寸不可调等问题。
本实用新型提供一种用于检测硅片承载花篮的检具,所述检具包括:
两个检测单元,各个检测单元上均设有检测部,所述检测部用于检测所述硅片承载花篮上的对应的定位槽组;
可调连接件,其连接两个所述检测单元,且通过所述可调节连接件能够对检测部两个所述检测部之间的距离进行调节。
优选地,各所述检测单元上相对的一侧均设有固定板,两个所述检测单元各自的固定板分别与所述可调节连接件连接。
优选地,各所述检测单元上均设有两个所述固定板。
优选地,两个所述检测单元的检测部彼此平行且相对背离设置;
并且,各个所述检测单元分别用于检测对应的一个定位槽组,每个定位槽组包括彼此平行且间隔预设距离设置的两列定位槽。
优选地,所述检测部上阵列设置有多个检测片,各个所述检测片分别用于卡入所述定位槽组上对应的定位槽内,来检测所述定位槽组上各个所述定位槽之间的平行度和对称度;
各所述检测片的长度大于等于所述定位槽组的上两列定位槽之间的间隔距离,从而使得所述检测片同时卡入对应的定位槽组的两列定位槽之间。
优选地,所述可调连接件设有两组,两组所述可调连接件分别设于两个所述检测单元长度方向上的两侧。
优选地,各组所述可调连接件包括:
定位板,所述定位板上开设有至少两个螺纹孔,定位板设于所述检测单元的一侧的外侧面上;
紧固螺栓,穿过所述检测单元并旋拧于所述螺纹孔内。
优选地,各个所述检测单元的外壁上分别开设有卡槽,用于定位板的卡入,各个所述卡槽的底壁上分别开设有条形的贯通孔,所述贯通孔用于所述紧固螺栓的穿过。
优选地,各所述紧固螺栓均从各所述检测单元的内侧穿出对应的所述贯通孔,并螺纹连接于所述定位板上。
优选地,各所述可调连接件还包括:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于楚雄隆基硅材料有限公司,未经楚雄隆基硅材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922146165.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种正交式平面移动机器人位姿检测装置
- 下一篇:暗室结构