[实用新型]明暗场切换光学模组

说明书

本实用新型公开了一种明暗场切换光学模组，它包括物镜、成像光路、光源光路、光源反射部件和驱动机构，光源光路适于将明场光源的至少一光束或暗场光源的至少一光束导至一光源反射位上；光源反射部件包括明场光源反射组和暗场光源反射组；所述驱动机构与所述光源反射部件相连；驱动机构适于被控制动作驱动所述光源反射部件移动以使明场光源反射组或暗场光源反射组移动至光源反射位上；明场光源反射组适于当其在光源反射位时将导至光源反射位的光束导至所述物镜上；暗场光源反射组适于当其在光源反射位时将导至光源反射位的光束导至所述物镜上。本实用新型可以自由切换明暗场，既能实现明场成像，又能实现暗场成像。

技术领域

本实用新型涉及一种明暗场切换光学模组，属于光学检测设备技术领域。

背景技术

目前，光学检测设备广泛应用于工业检测，已经成为半导体、电路板、生物领域以及金相试样及其它不透明工业试样的理想检验设备，明场和暗场照明模块为光学检测设备的关键部件，是光路系统不可或缺的一部分。明场照明，看到的相面明亮一片，分辨率在0.1微米以上的细节；暗场照明，看到相面黑色背景，分辨率可达到千分之几微米。目前，光学显微镜明场照明和暗场照明切换多为手动模式，随着工业发展，暗场照明和明场照明集成到一起，形成模块化可相互切换的光学组件已是一种趋势。

如现有的一种结构：图1所示，其主要由成像光路1、光源光路2、物镜安装机构3、物镜以及光源反射模块组成。由于光源反射模块在暗场和明场两种使用场景下是两种不同的结构，若既使用明场成像光路，又使用需要暗场成像光路，则需要配置两套光学模组；这时设备成本、人工成本和时间成本都成倍增加，不符合当下节能减排的社会发展要求。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种明暗场切换光学模组，它可以自由切换明暗场，既能实现明场成像，又能实现暗场成像。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种明暗场切换光学模组，它包括：

物镜；

成像光路；

光源光路，所述光源光路适于将明场光源的至少一光束或暗场光源的至少一光束导至一光源反射位上；

光源反射部件，所述光源反射部件包括明场光源反射组和暗场光源反射组；

驱动机构，所述驱动机构与所述光源反射部件相连；其中，

所述驱动机构适于被控制动作驱动所述光源反射部件移动以使明场光源反射组或暗场光源反射组移动至光源反射位上；

所述明场光源反射组适于当其在光源反射位时将导至光源反射位的光束导至所述物镜上；

所述暗场光源反射组适于当其在光源反射位时将导至光源反射位的光束导至所述物镜上；

所述物镜适于将光束导至对象上和接收光束经过对象后反射的成像光束并将成像光束导至成像光路中。

进一步，所述明场光源反射组和暗场光源反射组相连接。

明暗场切换光学模组包括支架；

所述光源反射部件滑动连接于所述支架上。

进一步，所述驱动机构通过一滑设于所述支架上的连接件与所述光源反射部件相连，所述驱动机构适于被控制动作驱动所述连接件移动，从而带动所述光源反射部件移动。

进一步，所述光源反射部件通过导轨副或直线轴承副安装在所述支架上。

进一步，所述导轨副包括滑动配合的母导轨和子导轨，所述母导轨连接在所述支架上，所述子导轨与所述光源反射部件相连。

进一步，所述驱动机构包括丝杠螺母副和驱动丝杠螺母副中的丝杠旋转的电机；