[实用新型]一种用于基板生产的真空镀膜装置

说明书

本实用新型属于基板生产技术领域，涉及一种用于基板生产的真空镀膜装置，其包括输送机构和夹持件，所述夹持件卡合连接在所述输送机构上，所述输送机构包括主动轮、从动轮和传送带，所述主动轮与所述从动轮通过所述传送带传动连接；通过在传送带上卡合连接有夹持件，可将待加工的基板夹持固定在传送带上，然后通过传送带两侧的加热器对基板的两面进行预处理，接着通过靶材对基板的两面进行镀膜作业，使得基板在传送带上进行输送的过程中，可同时对基板的两面进行镀膜作业，以及通过将基板卡合固定在夹持件上，通过夹持件上的夹持板与夹持侧件的相互配合下，使得基板可稳定的放置在传送带上，有效防止基板发生晃动，影响基板的镀膜效果。

技术领域

本实用新型涉及基板生产技术领域，具体是一种用于基板生产的真空镀膜装置。

背景技术

基板又称为“触控屏”、“触控面板”，是一种可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置，当接触了屏幕上的图形按钮时，屏幕上的触觉反馈系统可根据预先编程的程式驱动各种连结装置，可用以取代机械式的按钮面板，并借由液晶显示画面制造出生动的影音效果。基板作为一种最新的电脑输入设备，它是目前最简单、方便、自然的一种人机交互方式，它赋予了多媒体以崭新的面貌，是极富吸引力的全新多媒体交互设备，不用学习，人人都会使用，是基板最大的魔力，这一点无论是键盘还是鼠标，都无法与其相比，基板主要应用于公共信息的查询、领导办公、工业控制、军事指挥、电子游戏、点歌点菜、多媒体教学、房地产预售等。

中国专利公开了一种生产电容式基板用镀膜装置(授权公告号CN207079273U)，该专利技术通过在镀膜室内设置有吸尘装置，镀膜过程中产生的粉尘可以通过吸尘泵从吸盘吸入到集尘装置中，避免了整体停机清理粉尘的步骤，提高了镀膜的效率，但是，现有的基板普遍两面都需要进行镀膜作业，在进行义一面镀膜后，需要重复作业进行另外一面的镀膜，使得基板的镀膜作业效率较低，因此，本领域技术人员提供了一种用于基板生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于基板生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于基板生产的真空镀膜装置，包括输送机构和夹持件，所述夹持件卡合连接在所述输送机构上，所述输送机构包括主动轮、从动轮和传送带，所述主动轮与所述从动轮通过所述传送带传动连接；所述夹持件包括夹持板和四个夹持侧件，所述夹持板的上端面中心处开设有卡槽，四个所述夹持侧件分别固定安装在所述夹持板的上端面两侧，且两个所述夹持侧件之间相对应，所述夹持侧件包括夹持侧板和转动轮，所述转动轮转动连接在所述夹持侧板内。

作为本实用新型再进一步的方案：所述夹持侧板上开设有与所述转动轮相适配的转动槽，所述转动轮转动连接在所述转动槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述转动轮的外壁粘接固定有橡胶垫，所述橡胶垫的外壁固定安装有凸起，所述转动轮的两端固定安装有转轴，所述转动轮通过所述转轴转动连接在所述转动槽内。

作为本实用新型再进一步的方案：所述传送带上固定安装有若干个所述卡块，所述夹持板的底部固定安装有与所述卡块相适配的卡块，所述夹持件通过所述卡块卡合固定在所述传送带的上端面。

作为本实用新型再进一步的方案：所述夹持侧板为弹性片。

作为本实用新型再进一步的方案：所述输送机构的前后两侧安装有两个加热器和两个靶材，所述加热器位于所述靶材的输送前端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述输送机构安装在真空室内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：