[实用新型]一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置

说明书

本实用新型公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本实用新型的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

技术领域

本实用新型涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。

背景技术

纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。如镀金属玻璃纤维具有良好的电磁波反射性能，因此在军事上用作对抗雷达的干扰丝，此外镀银的玻璃纤维能焊接，可作导线；镀铝的玻璃纤维能反射大量的热能，可作高温防护衣等。

在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射镀膜中，就很难保证纤维表面能够全面均匀地镀膜，因此，如何保证镀膜的全面性与均匀性，成为本实用新型亟待解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种实现提高镀膜全面性与均匀性的卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，其特征在于，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷绕装置包括电机、支撑座、小齿轮、大齿轮、传动轴、卷筒及支撑座，所述小齿轮设置在电机上，且小齿轮与大齿轮啮合设置，所述传动轴穿设在支撑座上，且其一端与大齿轮相连，另一端与卷筒相连。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述丝架装置包括支撑架、滑杆及滑轮组，所述滑轮组包括滑轮一、滑轮二及滑轮三，所述滑轮一及滑轮二分别设置在支撑架上，所述滑轮三设置在滑杆上。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述卷筒由上下两线槽组成，其中下线槽底部设有截面为矩形的伸出端，并通过伸出端直接插入传动轴之中，从而实现连接与传动。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑杆可在支撑架上水平滑动，所述支撑架上设有预紧螺钉，通过预紧螺钉能够调节滑杆的水平位置，从而起到预紧的作用。

所述的一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，其特征在于，所述滑轮一与滑轮三设置在同一平面，滑轮二与滑轮一、滑轮三均不在同一个平面上。

本实用新型的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

附图说明

图1为本实用新型的安装示意图；

图2为本实用新型的局部结构图；