[实用新型]一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置

权利要求书

1.一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，包括纤维丝线(11)、真空腔体（14）、升降台（2）及靶材支座（12），所述真空腔体（14）内部在位于靶材支座（12）一侧的位置处设有放卷装置，另一侧的位置处设有收卷装置，所述真空腔体（14）内部在靠近放卷装置位置设有左丝架（3），真空腔体（14）内部在靠近收卷装置位置设有右丝架（15），所述纤维丝线(11)从放卷装置放出后在左丝架（3）及右丝架（15）之间进行展开后由收卷装置进行收卷。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述放卷装置包括电机（10）、支撑座（6）、小齿轮（9）、大齿轮（8）、传动轴（7）、收丝卷筒（4）及支撑座（6），所述小齿轮（9）设置在电机上，且小齿轮（9）与大齿轮（8）啮合设置，所述传动轴（7）穿设在支撑座（6）上，且其一端与大齿轮（8）相连，另一端与卷筒（4）相连。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述放卷装置包括支撑座（6）、传动轴（7）、放丝卷筒（16）及支撑座（6），所述传动轴（7）穿设在支撑座（6）上，其一端与卷筒（4）相连。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述左丝架包括支撑架（17）、小滑轮Ⅱ（18）、大滑轮Ⅷ（19）、大滑轮Ⅵ（20）、大滑轮Ⅱ（21）、大滑轮Ⅳ（22）及出线通孔，所述出线通孔设置在支撑架（17）上，所述大滑轮Ⅷ（19）与大滑轮Ⅳ（22）设置在出线通孔上下方位置处，所述大滑轮Ⅵ（20）与大滑轮Ⅱ（21）在出线通孔前后方位置处，所述小滑轮Ⅱ（18）位于出线通孔上方位置处。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置，其特征在于，所述右丝架包括支撑架（17）、大滑轮Ⅶ（23）、大滑轮Ⅲ（25）、大滑轮Ⅴ（24）、大滑轮Ⅰ（26）、小滑轮Ⅰ（27）及进线通孔，所述进线通孔设置在支撑架（17）上，所述大滑轮Ⅶ（23）与大滑轮Ⅲ（25）设置在进线通孔上下方位置处，所述大滑轮Ⅴ（24）与大滑轮Ⅰ（26）设置在进线通孔前后方位置处，所述小滑轮Ⅰ（27）设置在进线通孔正前方位置处。