[实用新型]一种分装高纯氙气的装置

权利要求书

1.一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：包括装有待分装高纯氙气的储气罐、用于输送高纯氙气输气管、连接在输气管上的充装组件、用于过滤输气管内杂质的过滤组件以及用于抽气的抽气泵；所述输气管的两端分别与储气罐的出气口和抽气泵的抽气口连通，该输气管在靠近抽气泵处安装有第一阀门，该输气管在靠近储气罐处安装有第二阀门；所述充装组件位于第一阀门和第二阀门之间，该充装组件包括若干个充装筒和若干根充装管，各充装筒的进气口均通过一根充装管与所述输气管相连通，且各充装管在靠近充装筒处均安装有第三阀门；所述过滤组件设置在所述输气管上且位于所述充装组件和第二阀门之间，所述过滤组件包括垂直设置在输气管内的吸水树脂层、高分子隔离层以及多孔氧化钙层，所述吸水树脂层、高分子隔离层和多孔氧化钙层在输气管内从储气罐到充装组件方向依次排列。

2.根据权利要求1所述的一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：所述输气管上还设置有用于控制输气管内气体温度的冷却组件，所述冷却组件安装在所述输气管上且位于过滤组件和充装组件之间。

3.根据权利要求2所述的一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：所述冷却组件包括冷却液、冷却筒、冷却管、冷凝器、液体泵以及储液箱；所述冷却管依次连通冷却筒、冷凝器、液体泵和储液箱，所述储液箱与冷却筒远离冷凝器的一端相连通，所述冷却液在所述冷却筒、冷却管、冷凝器、液体泵和储液箱内循环流动，所述输气管从冷却筒内穿过。

4.根据权利要求3所述的一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：所述输气管在冷却筒内呈螺旋状设置。

5.根据权利要求4所述的一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：所述冷却筒上还设置有用于检测并显示冷却筒内冷却液温度的温度检测器。

6.根据权利要求1所述的一种分装高纯氙气的装置，其特征在于：所述输气管在储气罐和充装组件之间还设置有用于测量并显示输气管内所通过氙气流量的气体流量计。