[实用新型]一种垂直运动Z向平台

说明书

本实用新型公开了一种垂直运动Z向平台，包括竖向设置的侧板，侧板上设置有相对侧板竖向运动的盖板，盖板上端固定有顶板，顶板的两端部分别延伸设有固定部，固定部凸出盖板两侧面设置；侧板两端分别固定有连接板，连接板上固定有横板，横板上固定有气缸，气缸的输出端固定于固定部上。本实用新型提供一种垂直运动Z向平台，本实用新型采用超薄设计，能有效节省安装空间，保证平台的运动精度，双气缸平衡设计不仅美观，还可以效减少气振现象，通过空气平衡负载重量，有效的避免电机长时间工作发热现象，是高刚性和高可靠性的Z向纳米定位平台。

技术领域

本实用新型涉及定位设备，具体是一种垂直运动Z向平台。

背景技术

在通讯领域的光纤耦合、半导体领域的wafer缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等技术领域中，精密定位是必要的技术，但是目前使用的精密定位设备都是能够满足平面式的高精度大行程定位要求，而不能满足垂直轴的高精度大行程定位要求。现有对垂直轴的定位是利用垂直运动的柔性铰链结构来实现，而柔性铰链的方式会对平台产生较大误差，大大降低平台的精度。

同时，在垂直轴运行时，可能会存在掉电问题，当掉电时，工作平台会由于重力下落，此时就会严重工作平台的稳定，导致工件损坏。

实用新型内容

为解决上述现有技术方案中的缺陷，本实用新型提供一种垂直运动Z向平台，本实用新型采用超薄设计，能有效节省安装空间，利用直线电机和交叉滚柱导轨保证平台的运动精度，利用双气缸实现稳定性。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种垂直运动Z向平台，包括竖向设置的侧板，所述侧板上设置有相对所述侧板竖向运动的盖板，所述盖板上端固定有顶板，所述顶板的两端部分别延伸设有固定部，所述固定部凸出所述盖板两侧面设置；所述侧板两端分别固定有连接板，所述连接板上固定有横板，所述横板上固定有气缸，所述气缸的输出端固定于所述固定部上；

所述侧板相对所述盖板的侧面上开有容纳槽，所述容纳槽内设有直线电机，所述直线电机的线圈固定在所述侧板上，所述直线电机的磁轨固定在所述盖板上，所述盖板在所述直线电机的作用下相对所述侧板做上下运动；所述侧板与所述盖板之间设置有导轨；

所述容纳槽内固定有读数头，所述读数头配备有光栅尺，所述光栅尺固定在所述盖板上并随着所述盖板运动；

所述侧板上端固定有中空的管道，所述读数头的线缆、所述线圈的线缆均穿过所述管道设置。

进一步地，所述磁轨上开有螺纹孔，所述螺纹孔内设有螺栓，所述螺栓将所述磁轨固定在所述盖板上。

进一步地，所述导轨采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述盖板上端部固定有上挡板，所述管道贯穿所述上挡板设置。

进一步地，所述盖板下端部固定有下挡板。

进一步地，所述气缸竖直设置。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将线圈、读数头固定，让磁轨、光栅尺运动，将线圈、读数头的线缆传设在管道内，使得线缆不移动，不会影响运行的精度；

2、本实用新型在盖板上设置支撑气缸，当直线电机掉电时，气缸会支撑住盖板，不会让盖板下落，保证盖板的稳定性从而保证工作平台的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的立体图；

图2是图1的主视图；

图3是图1的侧视图；

图4是侧板内部示意图；

图5是图4的立体图；