[实用新型]一种靶材打磨防护装置

说明书

本公开实施例是关于一种靶材打磨防护装置。该靶材打磨防护装置包括：第一竖直板，第一竖直板上设有两个通孔；第二竖直板，第一竖直板的左右边缘分别连接第二竖直板，且第二竖直板与第一竖直板相垂直；第一水平板，连接于第二竖直板上方，且与第一竖直板连接；第二水平板，连接于第二竖直板下方，且与第一竖直板连接；其中，第一水平板上设有一进气孔，第一水平板背离第一竖直板的边沿设有第一缺口，第一缺口中设有定位装置；第二水平板上设有一吸尘接口，第二水平板背离第一竖直板的边沿设有第二缺口，第二缺口的形状与靶材形状相匹配。本公开实施例可以更好的保护操作人员的人身安全，也防止了靶材因为粉尘颗粒的粘附而受到污染。

技术领域

本公开实施例涉及显示面板ITO(Indium Tin Oxide)镀膜制程技术领域，尤其涉及一种靶材打磨防护装置。

背景技术

在显示面板例如G8.6代液晶面板制造领域ITO镀膜制程中，由于玻璃长宽小于旋转靶材的长度，镀膜时靶材中下部分蚀刻速度较顶部快，会造成旋转靶材顶部与中下部分存在段差，段差的存在导致局部成膜不均匀，影响良率。

相关技术中，通常会使用手持打磨机对靶材顶部进行打磨，以消除靶材顶部与中下部分的段差。关于上述技术方案，发明人发现至少存在如下一些技术问题：例如打磨机在打磨靶材的过程中，被砂轮高速旋转甩出的靶材颗粒粘附于靶材中段，造成靶材污染，此外，打磨过程中产生的粉尘颗粒会对无尘环境造成污染也会对操作人员的身体造成伤害。因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本公开的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

实用新型内容

本公开实施例的目的在于提供一种靶材打磨防护装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本公开实施例提供的一种靶材打磨防护装置，包括：

第一竖直板，所述第一竖直板上设有供手臂穿过的通孔；

第二竖直板，与第一竖直板的左右边缘分别连接，且所述第二竖直板与所述第一竖直板相垂直；

第一水平板，连接于所述第二竖直板上方，且与所述第一竖直板连接；

第二水平板，连接于所述第二竖直板下方，且与所述第一竖直板连接；

其中，所述第一水平板上设有一进气孔，所述第一水平板背离所述第一竖直板的边沿设有第一缺口，所述第一缺口中设有定位装置；

所述第二水平板上设有一吸尘接口，所述第二水平板背离所述第一竖直板的边沿设有第二缺口，所述第二缺口的形状与靶材形状相匹配。

本公开的一实施例中，还包括夹具，所述夹具活动连接在所述第二竖直板的外表面，所述夹具的夹头用于卡接靶材固定基座。

本公开的一实施例中，所述第二竖直板的外表面设有Z型固定件，所述Z型固定件的其中一弯折端与所述第二竖直板固定连接，另一弯折端上具有竖直滑槽，所述夹具可沿所述滑槽活动。

本公开的一实施例中，所述夹具呈L型，其中一端设有与所述靶材固定基座相卡接的夹头，另一端通过紧固件连接于所述滑槽。

本公开的一实施例中，所述Z型固定件为Z型钣金件。

本公开的一实施例中，所述定位装置包括套筒和定位销，所述套筒固定在所述第一缺口上，所述定位销套设在所述套筒内，并可在所述套筒内运动。

本公开的一实施例中，所述第一缺口、套筒以及定位销为弧形。

本公开的一实施例中，所述通孔有两个，且两个所述通孔之间具有预设的间隔距离，各所述通孔的一侧固定一无尘手套。