[实用新型]一种二氯硅烷的充装装置

说明书

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种二氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括储存罐、压缩机、若干个充装组件、输气管、充装组件和抽气组件；所述输气管的两端分别与压缩机和储存罐连接，该输气管的两端均设置有阀门，所述压缩机与储存罐相连通；所述充装组件包括充装管和固定在充装管一端的充装头，所述充装管的与输气管相连通，所述充装管上设置有电动阀门，该充装管上安装有流量计；所述抽气组件位于所述压缩机和充装组件之间，该抽气组件包括抽气管和真空泵，所述抽气管的两端分别与和真空泵和输气管连通，所述抽气管上设置有阀门；本实用新型的有益效果是：充装精准，自动化程度高，充装稳定，减少充装时二氯硅烷的浪费。

技术领域

本实用新型涉及物料充装技术领域，尤其是一种二氯硅烷的充装装置。

背景技术

二氯硅烷是一种无色的有毒气体，易燃，具腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤；对上下呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性；二氯硅烷遇水或水蒸气迅速水解形成氯化氢(盐酸)，盐酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激；接触二氯硅烷后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等，可引起肺炎或肺水肿，眼接触可致灼伤，导致失明；但二氯硅烷在工业上有着特别的用途，二氯硅烷通常用于制造半导体，尤其是在外延法工艺中作为硅源。

二氯硅烷在使用时通常需要进行充装，现有的二氯硅烷充装装置充装不精准且物料浪费严重。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种充装精准的二氯硅烷的充装装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种二氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括储存有二氯硅烷的储存罐、用于提供充装动力的压缩机、若干个充装组件、用于输送二氯硅烷的输气管以及设置在输气管上的充装组件和抽气组件；所述输气管的两端分别与压缩机的输出端以及储存罐的进气口连通，该输气管的两端均设置有控制输气管通断的阀门，所述压缩机的输入端与储存罐的出气口连通；所述充装组件包括充装管和充装头，所述充装头用于与待充装瓶的进气口密封连接，所述充装管的一端与输气管相连通，该充装管的另一端与充装头固定连接，所述充装管上设置有控制充装管通断的电动阀门，该充装管上还安装有用于显示充装管内通过二氯硅烷量的流量计；所述抽气组件位于所述压缩机和充装组件之间，所述抽气组件包括抽气管和真空泵，所述抽气管的一端与所述输气管连通，该抽气管的另一端与所述真空泵的输入端连通，所述抽气管上设置有控制其通断的阀门。

优选为：所述充装组件还包括用于控制电动阀门的自动控制器，所述自动控制器与流量计电连接，所述流量计可根据待充装瓶的大小设定流量值，当通过充装管内的流量达到设定流量值时，流量计将信号传递至自动控制器，自动控制器自动控制电动阀门关闭。

优选为：所述充装组件还包括警报器，所述警报器与自动控制器电连接，该警报器启动时会发出刺耳的提示声。

优选为：所述充装组件还包括警示灯，所述警报器与自动控制器电连接，所述警示灯分为两种状态，在二氯硅烷在充装时警示灯显示红光，当流量计的显示流量达到设定值时自动控制器控制警示灯发出绿光。

优选为：所述抽气组件还包括用于处理废气的废弃处理机构，所述废气处理机构与所述真空泵的输出端连通。

优选为：所述废气处理机构包括废气管和反应筒，所述废气管的一端与真空泵的输出端相连通，该废气管的另一端与所述反应筒相连通，所述反应筒内设置有碱液。