[实用新型]一种VAD沉积炉内压力自动控制系统有效
| 申请号： | 201922181527.X | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN211226915U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 骆金卫;李锐;王侃 | 申请（专利权）人： | 江苏奥维信亨通光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014;C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 vad 沉积 压力 自动控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：其包括反应炉、通过废气排出管连通所述反应炉内部的抽风装置、与所述反应炉连通的新风补风管、设置在所述新风补风管上的新风补风阀、与所述废气排出管连通的抽风补风管、设置在所述抽风补风管上的抽风补风阀、设置在所述反应炉内的压力传感器、以及PLC控制器，所述PLC控制器与所述新风补风阀、所述抽风补风阀以及所述压力传感器电气连接。
2.如权利要求1所述的VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：所述废气排出管上位于与所述抽风补风管交汇的下游设置有手动阀。
3.如权利要求1所述的VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：所述新风补风管与所述抽风补风管的另一端均连通外界空间。
4.如权利要求1所述的VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：所述新风补风阀与所述抽风补风阀为电动比例调节阀。
5.如权利要求1所述的VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：还包括一警报装置，所述PLC控制器与所述警报装置电气连接。
6.如权利要求1所述的VAD沉积炉内压力自动控制系统，其特征在于：所述新风补风管与所述抽风补风管分别位于所述反应炉的两侧。
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