[实用新型]一种带烘干功能的清洗机有效

专利信息
申请号: 201922187815.6 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN211488784U 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 胡建军 申请(专利权)人: 苏州英尔捷半导体有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B21/00;F26B11/18
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 徐永雷
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 烘干 功能 清洗
【权利要求书】:

1.一种带烘干功能的清洗机,包括主体(1)、横板(17)和固定套(19),其特征在于:所述主体(1)的底端外侧设置有滚轮(4),且主体(1)的底端内侧设置有脚柱(2),所述脚柱(2)的外侧设置有固定环(3),所述主体(1)的上端一侧设置有清洗仓(5),且清洗仓(5)的外部一侧固定有铰链(6),且铰链(6)的另一端固定有清洗仓门体(7),所述清洗仓门体(7)的上端设置有玻璃(8),且清洗仓门体(7)的外侧固定有把手(9),所述清洗仓(5)的内部两侧设置有滑轨(10),且滑轨(10)的外侧固定有滑块(11),所述滑块(11)的外侧固定有旋钮(12),且滑块(11)的另一端固定有清洗水枪(13),所述滑块(11)的另一端内部设置有固定轴(14),所述清洗仓(5)的上端外侧设置有第一液压缸(15),且第一液压缸(15)的另一端连接有第二液压缸(16),所述第二液压缸(16)的一侧固定有横板(17),且第二液压缸(16)的下端连接有液压柱(18),所述液压柱(18)的外侧设置有固定套(19),且液压柱(18)的下端连接有吸盘(20),所述清洗仓(5)的内部底端固定有晶圆固定盘(21),且晶圆固定盘(21)的外侧设置有固定框(22),所述固定框(22)的内侧设置有弹簧(23),且弹簧(23)的另一端固定有夹块(24),所述晶圆固定盘(21)的下端连接有第一电动机(25),所述清洗仓(5)的一侧设置有挡板(26),且挡板(26)的另一侧设置有烘干仓(27)。

2.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述固定环(3)与脚柱(2)呈同圆心分布,且固定环(3)和脚柱(2)之间构成可升降结构。

3.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述玻璃(8)的外侧贴合于清洗仓门体(7)的内侧,且玻璃(8)和清洗仓门体(7)之间构成嵌入式结构。

4.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述滑块(11)内侧呈凹槽状,且滑轨(10)、滑块(11)和清洗水枪(13)之间构成滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述第二液压缸(16)和液压柱(18)呈垂直状分布,且第二液压缸(16)、液压柱(18)和吸盘(20)之间构成伸缩结构。

6.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述弹簧(23)与晶圆固定盘(21)呈水平状分布,且弹簧(23)、晶圆固定盘(21)和夹块(24)之间构成弹性结构。

7.根据权利要求1所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述烘干仓(27)的外侧设置有烘干仓门体(28),且烘干仓(27)的内部设置有热风扇(29),且烘干仓(27)的内部底端固定有烘干盘(30),所述烘干盘(30)的下端连接有第二电动机(31)。

8.根据权利要求7所述的一种带烘干功能的清洗机,其特征在于:所述烘干盘(30)与烘干仓(27)呈水平状分布,且烘干盘(30)与第二电动机(31)构成旋转结构。

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