[实用新型]测漏装置

权利要求书

1.一种测漏装置，用来对一腔体进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：

一测漏组件，包括一气体传感器，该气体传感器侦测该腔体内一第一特定气体；

一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀将该腔体和该测漏组件连通或隔开；

一抽气泵，对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外的压力；及

一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀将该腔体和该抽气泵连通或隔开。

2.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该第一特定气体为氧气。

3.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器侦测该腔体内的该第一特定气体的分压。

4.如权利要求3所述的测漏装置，其特征在于，该气体传感器包括一质谱仪或者一光激发光谱仪。

5.如权利要求1所述的测漏装置，其特征在于，该测漏装置还包括：

一气体供应器，供应一第二特定气体至该腔体；及

一第三隔离阀，设置于该腔体和该气体供应器之间，该第三隔离阀将该腔体和该气体供应器连通或隔开。

6.一种测漏装置，用来对至少一对象进行测漏，其特征在于，该测漏装置包含：

一腔体；

一连接装置，其中至少一该对象通过该连接装置设置在该腔体上；

一测漏组件，包括一气体传感器，该气体传感器侦测该腔体内一第一特定气体；

一第一隔离阀，设置于该腔体和该测漏组件之间，该第一隔离阀将该腔体和该测漏组件连通或隔开；

一抽气泵，对该腔体进行抽气，使该腔体内的压力低于该腔体外之压力；及

一第二隔离阀，设置于该腔体和该抽气泵之间，该第二隔离阀将该腔体和该抽气泵连通或隔开。

7.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，至少一该对象设置在该腔体的外壁，且该腔体和至少一该对象内部彼此连通。

8.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，至少一该对象设置在该腔体的内壁，且至少一该对象内部和该腔体外的空气连通。

9.如权利要求6所述的测漏装置，其特征在于，该测漏装置还包括：

一气体供应器，供应一第二特定气体至该腔体；及

一第三隔离阀，设置于该腔体和该气体供应器之间，该第三隔离阀将该腔体和该气体供应器连通或隔开。

10.如权利要求1或6所述的测漏装置，其特征在于，该测漏组件还包括：

一真空计，用来感测该腔体内的压力。

11.如权利要求1或6所述的测漏装置，其特征在于，该测漏组件还包括：

一泄漏产生装置，能被控制来将该腔体外的空气泄漏至该腔体内以产生一特定漏率。

12.如权利要求11所述的测漏装置，其特征在于，该泄漏产生装置包括校正泄漏阀或者传感器校正的标准泄漏点。