[实用新型]一种深紫外波段复合灵敏度光谱仪

权利要求书

1.一种深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：包括光谱分束镜、离子谱反射镜一、离子谱反射镜二、离子谱准直抛物镜、离子谱光栅、离子谱聚焦抛物镜、离子谱像面反射镜、离子谱成像椭球镜、电子谱准直抛物镜、电子谱光栅、电子谱聚焦抛物镜、电子谱像面反射镜和电子谱成像椭球镜；

从光谱仪输入端进入的待测信号经光谱分束镜分为两束，一路为透射光，另一路为反射光；

在透射光路中，光束经离子谱反射镜一和离子谱反射镜二反射，然后光束经离子谱准直抛物镜准直后到达离子谱光栅，经光栅色散后的光束经离子谱聚焦抛物镜聚焦于离子谱像面反射镜，光束经离子谱像面反射镜屏蔽杂光干扰后聚焦于离子谱成像椭球镜，所述离子谱成像椭球镜将色散后的信号聚焦成像于像面上；

在反射光路中，光束经过电子谱准直抛物镜准直，然后经电子谱光栅衍射分光，经光栅色散后的光束由电子谱聚焦抛物镜聚焦于电子谱像面反射镜上；所述电子谱像面反射镜将光束反射至电子谱成像椭球镜，所述电子谱成像椭球镜将色散后的信号聚焦成像于像面上。

2.根据权利要求1所述的深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：从光谱仪输入端进入的待测信号经光谱分束镜分为两束，透射波段为200nm-220nm，反射波段为150nm-200nm。

3.根据权利要求2所述的深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：定义光谱仪输入端为坐标零点，水平面为XZ平面，水平向右为Z正向，垂直于XZ平面向上的方向为Y正向；

所述光谱分束镜与X轴的倾角为6°；所述离子谱反射镜一与X轴的倾角为50°；所述离子谱反射镜二与X轴的倾角为34°；所述离子谱准直抛物镜与X轴的倾角为8.949°；所述离子谱光栅与X轴的倾角为4.5°；所述离子谱聚焦抛物镜与X轴的倾角为8.808°；所述离子谱像面反射镜与X轴的倾角为-11.679°，与Y轴的倾角为2°；所述离子谱成像椭球镜与X轴的倾角为14.498°，与Y轴的倾角为-0.547°；所述电子谱准直抛物镜与X轴的倾角为-9°；所述电子谱聚焦抛物镜与X轴的倾角为-2.869°；所述电子谱像面反射镜与X轴的倾角为3°，与Y轴的倾角为2°；所述电子谱成像椭球镜与X轴的倾角为2.284°，与Y轴的倾角为-0.522°。

4.根据权利要求3所述的深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：所述离子谱准直抛物镜沿Y轴的平移量为-157.65mm；所述离子谱聚焦抛物镜沿Y轴的平移量为39.544mm；所述离子谱成像椭球镜沿Y轴的平移量为-81.923mm；所述电子谱准直抛物镜沿Y轴的平移量为-14.107mm；所述电子谱光栅沿Y轴的平移量为-48.569mm；所述电子谱聚焦抛物镜的沿Y轴的平移量为21.984mm；所述电子谱成像椭球镜的Y离轴量为-34.57mm。

5.根据权利要求1至4任一所述的深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：所述光谱仪输入端和光谱分束镜的间距为100㎜，所述光谱分束镜和离子谱反射镜一的间距为359㎜，所述离子谱反射镜一和离子谱反射镜二的间距为185㎜；所述离子谱反射镜二和离子谱准直抛物镜的间距为365㎜；所述离子谱准直抛物镜和离子谱光栅的间距为480㎜；所述离子谱光栅与离子谱聚焦抛物镜的间距为450㎜；所述离子谱聚焦抛物镜与离子谱像面反射镜的间距为480㎜；所述离子谱像面反射镜与离子谱成像椭球镜的间距为470㎜；所述离子谱成像椭球镜与电子谱准直抛物镜的间距为60㎜；所述电子谱准直抛物镜与电子谱光栅的间距为570㎜；所述电子谱光栅与电子谱聚焦抛物镜的间距为100㎜；所述电子谱聚焦抛物镜与电子谱像面反射镜的间距为111.5㎜，所述电子谱像面反射镜与电子谱成像椭球镜的间距为520㎜。

6.根据权利要求5所述的深紫外波段复合灵敏度光谱仪，其特征在于：所述离子谱准直抛物镜的顶点半径R为-2053.77㎜，所述离子谱聚焦抛物镜的顶点半径R为-957.12㎜，所述离子谱成像椭球镜的顶点半径R为-561.54㎜，圆锥系数为-0.04984，所述电子谱准直抛物镜的顶点半径R为322.78㎜，所述电子谱聚焦抛物镜的顶点半径R为220.0㎜，所述电子谱成像椭球镜的顶点半径R为598.74㎜，圆锥系数-0.02369。