[实用新型]一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置

权利要求书

1.一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，包括底板(1)和测试机主体(5)，其特征在于：所述底板(1)顶端的中部连接安装有旋转盘(2)，所述旋转盘(2)顶面的两侧垂直安装有轴架(3)，两个所述轴架(3)通过转轴(4)活动连接所述测试机主体(5)的底端，所述测试机主体(5)包含导轨槽(6)，所述导轨槽(6)的底端垂直固定有物料放置台(7)，所述物料放置台(7)的顶面嵌合连接有压力感应器(8)，所述导轨槽(6)的顶端垂直固定有测力液压缸(9)，所述测力液压缸(9)的伸缩轴指向所述物料放置台(7)的顶面，所述测力液压缸(9)的伸缩轴底端螺合连接有夹具(10)，所述夹具(10)上固定安装有拉力测试仪(11)，所述底板(1)顶端的背面固定安装有液压站(12)，所述液压站(12)的顶端安装有调压电磁阀(13)，所述液压站(12)通过所述调压电磁阀(13)连通所述测力液压缸(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述旋转盘(2)的边侧等分设有卡槽(14)，所述底板(1)顶面的一侧设置有伸缩锁紧销(15)，所述伸缩锁紧销(15)嵌合连接所述卡槽(14)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述转轴(4)的两端串接固定有蜗轮盘(16)，所述轴架(3)的边侧支架安装有蜗杆(17)，所述蜗杆(17)啮合所述蜗轮盘(16)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：底板(1)正面的两侧固定安装有压力操作按钮(18)和拉力操作按钮(19)，所述压力操作按钮(18)和所述拉力操作按钮(19)分别电性连接所述调压电磁阀(13)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述底板(1)的边侧通过支架安装有显示屏(20)，所述压力感应器(8)和所述拉力测试仪(11)均电性连接所述显示屏(20)。

6.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置，其特征在于：所述旋转盘(2)的边侧、所述导轨槽(6)的边侧以及所述蜗轮盘(16)的边侧均设置有刻度标识。