[实用新型]加热器保护系统及温控设备

说明书

本实用新型涉及温控设备技术领域，提供一种加热器保护系统及温控设备。加热器保护系统包括：流量传感器，连接于制热系统中导热流体流动路径上；控制系统，与流量传感器连接，控制系统包括比较单元，比较单元接收流量传感器的流量信号并与流量预设值比较；开关电路，包括相串联的流量继电器和接触器，流量继电器连接比较单元的输出端以接收第一断开信号，接触器的线圈侧位于开关电路，接触器的常闭接点侧串联于加热器与加热器电源之间；流量继电器接收到第一断开信号，接触器断开、加热器断电。本实用新型提出一种加热器保护系统及温控设备，避免干烧、抑制温度超限，结构简单，成本低。

技术领域

本实用新型涉及温控设备技术领域，尤其涉及加热器保护系统及温控设备。

背景技术

对半导体生产过程进行温度控制时，需要使用专用的温控设备；温控设备主要应用于刻蚀、物理气相沉积、化学气相沉积等半导体加工工艺过程，为负载设备提供高精度、稳定的循环液入口温度，使整个系统具有较高的稳定性、实时性和可靠性。

半导体温控装置作为生产半导体的辅助设备，在工厂的生产工艺中对安全的要求极高。半导体温控装置包括制热系统和制冷系统两部分，其中制热系统包括加热器，加热器作为加热元件，负责加热制热系统中的绝缘液，加热器的安全尤为重要。现有的加热器，存在加热温度超限、干烧等安全隐患，未能解决。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种加热器保护系统，避免干烧、抑制温度超限，结构简单，成本低。

本实用新型还提出一种温控设备。

根据本实用新型第一方面实施例的加热器保护系统，包括：

流量传感器，连接于制热系统中导热流体流动路径上；

控制系统，与所述流量传感器连接，所述控制系统包括比较单元，所述比较单元接收所述流量传感器的流量信号并与流量预设值比较；

开关电路，包括相串联的流量继电器和接触器，所述流量继电器连接所述比较单元的输出端以接收第一断开信号；所述接触器的线圈侧位于所述开关电路，所述接触器的常闭接点侧串联于加热器与加热器电源之间；所述流量继电器接收到所述第一断开信号，所述接触器断开、所述加热器断电。

根据本实用新型的一个实施例，所述开关电路还包括流量开关，所述流量开关连接于制热系统中导热流体流动路径上并与所述接触器的线圈侧串联。

根据本实用新型的一个实施例，还包括温度传感器，所述温度传感器连接于所述加热器，所述温度传感器的温度信号传输到所述比较单元并与温度预设值比较；

所述开关电路还包括温度继电器，所述温度继电器与所述接触器的线圈侧串联，所述温度继电器连接于所述比较单元的输出端并接收第二断开信号；所述温度继电器接收到所述第二断开信号，所述接触器断开、所述加热器断电。

根据本实用新型的一个实施例，所述开关电路还包括温度开关，所述温度开关连接于所述加热器并与所述接触器的线圈侧串联。

根据本实用新型的一个实施例，还包括液位传感器，所述液位传感器连接于所述加热器所在的水箱，所述液位传感器的液位信号传输到所述比较单元；

所述开关电路还包括液位继电器，所述液位继电器与所述接触器的线圈侧串联，所述液位继电器连接于所述比较单元的输出端并接收第三断开信号；所述液位继电器接收到所述第三断开信号，所述接触器断开、所述加热器断电。

根据本实用新型的一个实施例，所述开关电路还包括液位开关，所述液位开关连接于所述加热器所在的水箱并与所述接触器的线圈侧串联。

根据本实用新型的一个实施例，所述控制系统还包括记录单元，所述记录单元记录输入数据和输出数据。