[实用新型]一种二次离子质谱仪测试用样品架有效
申请号: | 201922198476.1 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN211402241U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 马农农;何友琴;陈潇;张鑫;王东雪;杨东海;孙雪莲 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | G01N27/64 | 分类号: | G01N27/64 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 王凤英 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二次 离子 质谱仪 测试 样品 | ||
1.一种二次离子质谱仪测试用样品架,其特征在于:所述样品架包括样品架基座(1)、前挡片(2)、背压块(3)、固定螺丝(4)和弹簧(5);前挡片(2)开有十个大小相等的正方形方孔,分布均匀对称,前挡片(2)焊接在样品架基座(1)上;背压块(3)通过固定螺丝(4)固定在样品架基座(1)上,弹簧(5)的上端置于背压块(3)底部,下端压住装载后的样品(6),使样品(6)与前挡片(2)充分接触。
2.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架,其特征在于:所述弹簧(5)是采用磷铜丝制成的塔形弹簧。
3.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架,其特征在于:所述弹簧(5)高度为4mm,圈数为三圈半。
4.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架,其特征在于:所述前挡片(2)采用高纯钽片制成,钽片纯度达到99999以上。
5.如权利要求1所述的一种二次离子质谱仪测试用样品架,其特征在于:所述固定螺丝(4)为内六角螺丝,采用钛合金材料制成。
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