[实用新型]一种氩气的回收纯化机构

说明书

本实用新型提出了一种氩气的回收纯化机构，包括第一管道、至少一个第一分离器、至少一个第二分离器、第一制冷装置、第二制冷装置以及两个第二管道；所述至少一个第一分离器以及至少一个第二分离器均串接于所述第一管道上，所述第一制冷装置通过其中一个第二管道与所述至少一个第一分离器相连接，所述第二制冷装置通过另一个第二管道与所述至少一个第二分离器相连接。

【技术领域】

本实用新型涉及气体回收技术领域，尤其涉及一种氩气的回收纯化机构。

【背景技术】

通常使用一种滑阀式真空泵将炉内环境减压为真空区域，从炉内抽出的热氩气加热了滑阀式真空泵润滑油，使用后氩气混入了CO,CO₂，H₂,N₂,O₂,SiO₂颗粒，甲烷等烷烃以及大量的真空泵润滑油油雾，将此油雾与氩气分离是困难的，若将油雾与氩气直接排放至大气则会污染环境，造成浪费。于是，人们采取了以下对策：将滑阀式真空泵更换为干式真空泵，但是投资成本较高；将含油的氩气分离脱油处理并回收纯化，回收纯化氩气的过程中采取了以下方法脱除油雾；专利文献US5706674记载了回收纯化方法，常温下经过碱性溶液洗涤除去氩气携带的固体杂质及油雾，但是这种方法的缺点是：碱性溶液洗涤除去氩气携带的固体杂质及油雾所产生的污水不易处理，对环境有危害。

专利文献CN102583281B中也记载了回收纯化方法,回收的氩气进行粗除油，经过压缩冷却后再用高清度除油系统除油，除尘。高精度除油系统包括高效除油器，精密过滤器，活性炭过滤器和高效除尘过滤器中的至少两种串联构成。但是这一回收纯化方法的缺点是：一、除油后的氩气仍然含有一定量的真空泵润滑油油雾及固体杂质，在压缩机压缩的过程中，氩气导热低，绝热指数高，因而排气温度较高，油雾极易产生裂解，结焦，甲烷化，增加了压缩机的故障以及后续脱碳，脱氧的工作量；二、真空泵润滑油是具有一定粘性的物质，初除油后的氩气仍含有SiO₂颗粒，易粘附于高精度除油系统造成堵塞。

鉴于此，实有必要提供一种新型的氩气的回收纯化机构以克服上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是提供一种氩气的回收纯化机构，减少了含油氩气中的油雾使含油氩气可以回收纯化再利用，避免造成除油系统堵塞。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种氩气的回收纯化机构100，包括第一管道10、至少一个第一分离器20、至少一个第二分离器30、第一制冷装置40、第二制冷装置50以及两个第二管道60；所述至少一个第一分离器20以及至少一个第二分离器30均串接于所述第一管道10上，所述第一制冷装置40通过其中一个第二管道60与所述至少一个第一分离器20相连接，所述第二制冷装置50通过另一个第二管道60与所述至少一个第二分离器30相连接。

在一个优选实施方式中，每个第二分离器30包括串接于所述第一管道10上的收容体31、收容于所述收容体31内的气泡仓32以及收容于所述收容体31内并与所述气泡仓32相邻设置的第三分离器33，所述气泡仓32的顶部设置有与所述气泡仓32连通的收容槽321。

在一个优选实施方式中，所述收容体31中部设置有排污阀311。

在一个优选实施方式中，所述收容体31上还设置有液位计312。

在一个优选实施方式中，所述气泡仓32内设置有泡罩322。

在一个优选实施方式中，所述气泡仓32内还设置有气泡分离板323，所述气泡分离323位于所述泡罩322的上方。

在一个优选实施方式中，每个第二分离器30还包括除雾器34，所述除雾器34设置于所述收容体31内并位于所述收容体31的顶部。