[实用新型]一种生产硅片设备的零件夹紧工装

权利要求书

1.一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，包括固定工作台、连接板和主体工作台；所述的主体工作台设置有多个，均匀分布在所述的连接板上，与所述的连接板固定连接；所述的连接板位于所述的固定工作台上，与所述的固定工作台固定连接；所述的固定工作台位于设备上，与设备固定连接；

每一个所述的主体工作台上设置有仿形工件槽、弹簧孔、压紧孔和锁紧螺钉；所述的仿形工件槽位于所述的主体工作台上，凹陷至所述的主体工作台内；所述的弹簧孔位于所述的仿形工件槽的一侧，凹陷至所述的主体工作台内，连接所述的仿形工件槽；所述的压紧孔位于所述的弹簧孔的一侧，凹陷在所述的主体工作台内，延伸至所述的主体工作台的表面；所述的锁紧螺钉位于所述的压紧孔内，与所述的压紧孔相配合。

2.根据权利要求1所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的仿形工件槽、弹簧孔、压紧孔和锁紧螺钉设置有多个，排列在所述的主体工作台上，所述的仿形工件槽和弹簧孔一一对应，所述的压紧孔和锁紧螺钉一一对应。

3.根据权利要求2所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的锁紧螺钉采用锥螺纹，与所述的主体工作台相配合。

4.根据权利要求2所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的弹簧孔与压紧孔相互间隔排列。

5.根据权利要求1所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的连接板上设置有连接螺钉和定位销，所述的锁紧螺钉延伸至所述的主体工作台内，与所述的主体工作台固定连接；所述的定位销延伸至所述的主体工作台内，与所述的主体工作台相配合。

6.根据权利要求5所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的连接螺钉和定位销设置有多个，均匀分布在每一个所述的主体工作台内。

7.根据权利要求1所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的连接板上还设置有减重孔和定位螺孔，所述的减重孔贯穿所述的连接板，所述的定位螺孔向下延伸，与所述的固定工作台相对应。

8.根据权利要求7所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的定位螺孔内设置有拉丁定位销，所述的拉丁定位销与所述的连接板固定连接，同时与所述的固定工作台相配合。

9.根据权利要求7所述的一种生产硅片设备的零件夹紧工装，其特征在于，所述的减重孔设置有多个，均匀分布在所述的连接板上。