[实用新型]一种卡盘的配气装置

权利要求书

1.一种卡盘的配气装置，其特征在于：包括旋转轴、配气座和3组密封圈组件；配气座与旋转轴间隙配合，配气座上设有2个气流槽，通过3组密封圈组件在配气座的2个气流槽与旋转轴之间形成2个气流通道；配气座上的2个气流槽上均设有相应的进气口；旋转轴上设有分别与2个气流通道相连通的第一气道和第二气道。

2.根据权利要求1所述的卡盘的配气装置，其特征在于：3组密封圈组件均包括O型密封圈和O型密封垫；O型密封垫设置在O型密封圈的内侧，与旋转轴相接触。

3.根据权利要求2所述的卡盘的配气装置，其特征在于：密封圈组件的O型密封垫的内壁上从前之后依次设有两个环形槽。

4.根据权利要求2或3所述的卡盘的配气装置，其特征在于：配气座整体呈圆柱壳状；2个气流槽从前至后相互平行设置在配气座的内壁上；2个气流槽按其所处的前后位置的不同称为前侧气流槽和后侧气流槽；2个气流槽均为开口向内的环形槽；前侧气流槽中设有连通外侧的第三进气口；后侧气流槽中设有连通外侧的第四进气口；配气座上设有3个密封圈槽，3个密封圈槽均为开口向内的环形槽，3个密封圈槽从前至后依次设置，且依次称为第一密封圈槽、第二密封圈槽和第三密封圈槽；第一密封圈槽位于前侧气流槽的前方，第二密封圈槽位于前侧气流槽和后侧气流槽之间，第三密封圈槽位于后侧气流槽的后方；3组密封圈组件分别设置在相应的密封圈槽中。

5.根据权利要求4所述的卡盘的配气装置，其特征在于：旋转轴后部外周设有凸缘部；

第一气道设置在旋转轴的左部，第一气道包括第一凸缘段和第一轴向段；第一凸缘段沿旋转轴的径向设置在凸缘部的左部上，外端口与外界相通，外端口上设有螺堵；凸缘部的左部沿旋转轴的轴向设有与第一凸缘段相连通的第一出气口；

第一轴向段沿旋转轴的轴向设置在旋转轴的左部上，前端与第一凸缘段的内端相连通，后端口与外界相通，后端口上设有螺堵；旋转轴的后部沿其轴向设有开口向外的与第一轴向段相连通的第一进气口，第一进气口与配气座的前侧气流槽相连通；

第二气道设置在旋转轴的右部，第二气道包括第二凸缘段和第二轴向段；第二凸缘段沿旋转轴的径向设置在凸缘部的右部上，外端口与外界相通，外端口上设有螺堵；凸缘部的右部沿旋转轴的轴向设有与第二凸缘段相连通的第二出气口；

第二轴向段沿旋转轴的轴向设置在旋转轴的右部上，前端与第二凸缘段的内端相连通，后端口与外界相通，后端口上设有螺堵；旋转轴的后部沿其轴向设有开口向外的与第二轴向段相连通的第二进气口，第二进气口与配气座的后侧气流槽相连通。