[实用新型]一种五维调节装置

权利要求书

1.一种五维调节装置，其特征在于，包括由下至上依次设置的基板a(1)、基板b(2)和基板c(3)，所述基板a(1)固定安装在设备本体上，基板b(2)通过高度调节单元固定在基板a(1)上，基板c(3)上放置待调整位置的图形板，所述高度调节单元设有三个且分别竖直设置于基板b(2)的三个角处，高度调节单元包括Z方向调节螺栓(4)、Z方向导向螺栓(5)和锁紧螺母(6)，Z方向调节螺栓(4)螺纹安装于基板b(2)上，Z方向调节螺栓(4)下表面始终与基板a(1)上表面接触，Z方向导向螺栓(5)穿过Z方向调节螺栓(4)并沿竖直方向固定在基板a(1)上，旋转Z方向调节螺栓(4)改变基板b(2)所处位置的高度，锁紧螺母(6)锁紧Z方向调节螺栓(4)进行基板b(2)的位置固定，通过调节三个高度调节单元的高度调节基板b(2)的高度、倾斜角度与俯仰角度，基板b(2)上固定安装X方向调整单元和Y方向调整单元，通过调节X方向调整单元和Y方向调整单元使基板c(3)带动其上的待调整位置的图形板相对基板b(2)进行X方向和/或Y方向运动。

2.根据权利要求1所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述基板c(3)上配有若干个真空吸孔(11)和真空通道(12)，真空吸孔(11)排列在基板c(3)上表面，真空吸孔(11)通过真空通道(12)连通到基板c(3)侧面，并通过管道连接到真空设备上，待调整位置的图形板通过真空吸孔(11)和真空通道(12)被紧密吸附在基板c(3)上。

3.根据权利要求1所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述Z方向调节螺栓(4)包括螺杆一，螺杆一的头部截面呈正多边形，旋转螺杆一的头部并带动螺杆一旋转，Z方向调节螺栓(4)沿竖直方向通过螺杆一的螺纹安装于基板b(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述Z方向调节螺栓(4)中央开有通孔，Z方向导向螺栓(5)包括螺杆二，螺杆二的头部截面呈正多边形，旋转螺杆二的头部并带动螺杆二旋转，螺杆二穿过Z方向调节螺栓(4)上的通孔并沿竖直方向螺栓固定于基板a(1)上，螺杆二的头部压紧Z方向调节螺栓(4)的上表面，使Z方向调节螺栓(4)下表面始终与基板a(1)上表面接触。

5.根据权利要求1所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述X方向调整单元包括若干个X方向导向块(7)和X方向推进部件(9)，X方向推进部件(9)设有两个且分别位于基板c(3)前后两侧，每个X方向推进部件(9)的左右两侧分别设置一个X方向导向块(7)，通过X方向推进部件(9)推动基板c(3)相对基板b(2)进行X方向运动。

6.根据权利要求5所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述X方向推进部件(9) 包括旋转螺杆和固定块，旋转螺杆和固定块螺纹连接，旋转螺杆穿过固定块再与Y方向调整单元的Y方向导向滑板(8)相接触，旋转旋转螺杆并推动Y方向导向滑板(8)，推动基板c(3)相对基板b(2)进行X方向运动。

7.根据权利要求1所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述Y方向调整单元包括Y方向导向滑板(8)和Y方向推进部件(10)，所述Y方向导向滑板(8)设有两个且其上分别开有凹槽，每个凹槽内放置有X方向调整单元的X方向推进部件(9)，每个Y方向导向滑板(8)两端分别设置有X方向调整单元的X方向导向块(7)，Y方向导向滑板(8)在基板b(2)上表面在X方向推进部件(9)的推动下沿X方向滑动，Y方向推进部件(10)设有两个且分别设置于基板c(3)左右两侧且与X方向调整单元成直角分布，通过Y方向推进部件(10)推动基板c(3)相对基板b(2)进行Y方向运动。

8.根据权利要求7所述的一种五维调节装置，其特征在于，所述Y方向推进部件(10)前端设有滚珠，所述Y方向推进部件(10)包括旋转螺杆一和固定块一，旋转螺杆一和固定块一螺纹连接，旋转螺杆一穿过固定块一再与基板c(3)接触，旋转螺杆旋转并推动基板c(3)相对基板b(2)进行Y方向运动。